ভ্যাকুয়াম রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি প্লাজমা পরিষ্কারের সরঞ্জাম

◇◇ সংক্ষিপ্ত বিবরণ  ◇◇

 এটি মুদ্রণ, আবরণ, ল্যামিনেশন এবং এনক্যাপসুলেশন সহ জটিল প্রক্রিয়াগুলির জন্য নির্ভরযোগ্য পৃষ্ঠের প্রিট্রিটমেন্ট প্রদান করে, যখন দুর্বল আনুগত্য, অসম আবরণ এবং দুর্বল বন্ধনের মতো সাধারণ সমস্যাগুলি সমাধান করে। তদ্ব্যতীত, প্লাজমা ক্লিনিং ঐতিহ্যগত দ্রাবক-ভিত্তিক পরিষ্কারের পদ্ধতিগুলির একটি পরিবেশ-বান্ধব, দক্ষ এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য শুকনো বিকল্প সরবরাহ করে।

  ◇◇  রচনা  ◇◇

প্রধানত ভ্যাকুয়াম চেম্বার, ইলেক্ট্রোড প্লেট, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি (আরএফ) পাওয়ার সাপ্লাই, ম্যাচার এবং ভ্যাকুয়াম পাম্পের সমন্বয়ে গঠিত।

◇◇  বৈশিষ্ট্য  ◇◇

• নিম্ন-তাপমাত্রা এবং দ্রুত প্রসেসিং: তাপ-সংবেদনশীল উপকরণের ক্ষতি রোধ করে, ছোট চক্রের সাথে ঘরের তাপমাত্রার (<50°C) কাছাকাছি কাজ করে।

• উচ্চতর পরিচ্ছন্নতা: প্রথাগত ভেজা পরিষ্কারের পদ্ধতির সীমা ছাড়িয়ে, লেভেল≤0.1nm-এ দূষক অপসারণ করে।

• পরিবেশ বান্ধব এবং শুষ্ক প্রক্রিয়া: রাসায়নিক দ্রাবক এবং বর্জ্য জল নির্মূল করে; বিষাক্ত উপ-পণ্য তৈরি না করে জড়/প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস ব্যবহার করে।

• বুদ্ধিমান এবং সনাক্তযোগ্য: সম্পূর্ণ উত্পাদন ডেটা ট্রেসেবিলিটির সাথে স্মার্ট প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের বৈশিষ্ট্য রয়েছে।

  
  

           ◇◇ প্রসেস পারফরমেন্স  ◇◇

                             

                                     চিকিত্সার আগে, যোগাযোগের কোণ = 85.6° চিকিত্সার পরে, যোগাযোগের কোণ = 14.3°

◇◇  প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন  ◇◇

চেম্বারের ক্ষমতা	110L
চেম্বারের আকার	525(W)×445(D)×495(H)mm
পাওয়ার পরিসীমা	0-600W থেকে ক্রমাগত সামঞ্জস্যযোগ্য, নির্ভুলতা ±1%
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি	13.56MHz ± 0.05%
প্রক্রিয়াকরণ গতি	3~10 মিনিট (প্রসেসিং কর্মক্ষমতা সাপেক্ষে)
পোস্ট-প্রসেসিং কর্মক্ষমতা	জলের যোগাযোগের কোণ <15°
ম্যাচিং পদ্ধতি	স্বয়ংক্রিয় প্রতিবন্ধকতা ম্যাচিং নেটওয়ার্ক
ইলেক্ট্রোড টাইপ	সমান্তরাল প্লেট ক্যাপাসিটিভ কাপলিং
ইলেকট্রোড উপাদান	অ্যানোডাইজড অ্যালুমিনিয়াম
ইলেকট্রোড প্লেট কনফিগারেশন	অনুভূমিক, 4 ইলেক্ট্রোড (অনুভূমিক ইলেক্ট্রোড স্তরের সংখ্যা বা উচ্চতা সামঞ্জস্য করা যেতে পারে) ক্যাসেট লোডিং উপলব্ধ
ইলেকট্রোড ফিক্সিং পদ্ধতি	প্লাগ-ইন বিচ্ছিন্ন করা যায়
ভ্যাকুয়াম পাম্প	রোটারি ভ্যান যান্ত্রিক পাম্প
পাম্পিং গতি	60m³/ঘণ্টা
চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি	≤5Pa
অপারেটিং ভ্যাকুয়াম পরিসীমা	10-100Pa
প্রক্রিয়া গ্যাসের চ্যানেল নম্বর	স্ট্যান্ডার্ড 2 চ্যানেল। একাধিক চ্যানেল ঐচ্ছিক
গ্যাসের ধরন	Ar, O₂, N₂, H₂. ক্ষয়কারী গ্যাস CF₄ ঐচ্ছিক
গ্যাস নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি	ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক (MFC)
MFC পরিমাপ পরিসীমা এবং নির্ভুলতা	0-300 sccm, নির্ভুলতা ±2% FS
ট্রে আকার লোড হচ্ছে	400mm(L）*473mm(W)
সরঞ্জামের আকার	900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (ত্রি-রঙা আলোর উচ্চতা ব্যতীত)
সরঞ্জাম ওজন	প্রায় 450 কেজি

◇◇  একটি আবেদন এলাকা  ◇◇