تجهیزات تمیز کردن پلاسما با فرکانس رادیویی خلاء

◇◇ نمای کلی  ◇◇

 این پیش تصفیه سطح قابل اعتمادی را برای فرآیندهای حیاتی از جمله چاپ، پوشش، لمینیت و کپسوله‌سازی فراهم می‌کند، در حالی که به مسائل رایج مانند چسبندگی ضعیف، پوشش ناهموار و اتصال ضعیف می‌پردازد. علاوه بر این، تمیز کردن پلاسما یک جایگزین خشک سازگار با محیط زیست، کارآمد و قابل کنترل برای روش‌های تمیز کردن سنتی مبتنی بر حلال است.

  ◇◇  ترکیب  ◇◇

عمدتا از محفظه خلاء، صفحات الکترود، منبع تغذیه فرکانس رادیویی (RF)، تطبیق و پمپ خلاء تشکیل شده است.

◇◇  ویژگی ها  ◇◇

• پردازش در دمای پایین و سریع: در دمای اتاق (<50 درجه سانتیگراد) با زمان چرخه کوتاه عمل می کند و از آسیب به مواد حساس به حرارت جلوگیری می کند.

• تمیز کردن برتر: آلودگی‌ها را در سطح 0.1 نانومتر حذف می‌کند و از محدودیت‌های روش‌های سنتی تمیز کردن مرطوب فراتر می‌رود.

• فرآیند خشک و سازگار با محیط زیست: حلال های شیمیایی و فاضلاب را از بین می برد. از گازهای بی اثر/واکنش پذیر بدون تولید محصولات جانبی سمی استفاده می کند.

• هوشمند و قابل ردیابی: دارای کنترل فرآیند هوشمند با قابلیت ردیابی کامل داده های تولید است.

  
  

           ◇◇ عملکرد فرآیند  ◇◇

                             

                                     قبل از درمان، زاویه تماس = 85.6 درجه پس از درمان، زاویه تماس = 14.3 درجه

◇◇  فنی مشخصات  ◇◇

ظرفیت اتاق	110L
اندازه اتاقک	525(W)×445(D)×495(H)mm
محدوده قدرت	قابلیت تنظیم مداوم از 0 تا 600 وات، دقت 1%
فرکانس رادیویی	13.56 مگاهرتز ± 0.05٪
سرعت پردازش	3 تا 10 دقیقه (با توجه به عملکرد پردازش)
عملکرد پس از پردازش	زاویه تماس آب کمتر از 15 درجه
روش تطبیق	شبکه تطبیق امپدانس خودکار
نوع الکترود	کوپلینگ خازنی صفحه موازی
مواد الکترود	آلومینیوم آنودایز شده
پیکربندی صفحه الکترود	افقی، 4 الکترود (تعداد لایه های الکترود افقی یا ارتفاع قابل تنظیم است) بارگیری کاست موجود است
روش تثبیت الکترود	قابل جدا شدن پلاگین
پمپ خلاء	پمپ مکانیکی پره ای دوار
سرعت پمپاژ	60m³/h
درجه خلاء نهایی	≤5Pa
محدوده عملکرد خلاء	10-100 پاسکال
شماره کانال گاز فرآیند	2 کانال استاندارد چند کانال اختیاری هستند
انواع گاز	Ar، O2، N2، H2. گاز خورنده CF4 اختیاری است
روش کنترل گاز	کنترل کننده جریان جرمی (MFC)
محدوده اندازه گیری MFC و دقت	0-300 sccm، دقت ± 2% FS
اندازه سینی در حال بارگیری	400 میلی متر (L） * 473 میلی متر (W)
اندازه تجهیزات	900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (بدون احتساب ارتفاع نور سه رنگ)
وزن تجهیزات	حدود 450 کیلوگرم

◇◇  یک منطقه کاربردی  ◇◇