वैक्यूम रेडियो फ्रीक्वेंसी प्लाज्मा सफाई उपकरण

◇◇ अवलोकन  ◇◇

 यह खराब आसंजन, असमान कोटिंग और कमजोर बॉन्डिंग जैसे सामान्य मुद्दों को संबोधित करते हुए प्रिंटिंग, कोटिंग, लेमिनेशन और एनकैप्सुलेशन सहित महत्वपूर्ण प्रक्रियाओं के लिए विश्वसनीय सतह पूर्व-उपचार प्रदान करता है। इसके अलावा, प्लाज्मा सफाई पारंपरिक विलायक-आधारित सफाई विधियों के लिए एक पर्यावरण-अनुकूल, कुशल और नियंत्रणीय सूखा विकल्प प्रदान करती है।

  ◇◇  रचना  ◇◇

मुख्य रूप से वैक्यूम चैम्बर, इलेक्ट्रोड प्लेट्स, रेडियो फ्रीक्वेंसी (आरएफ) बिजली की आपूर्ति, मैचर और वैक्यूम पंप से बना है।

◇◇  विशेषताएं  ◇◇

• कम तापमान और तेज़ प्रसंस्करण: कम चक्र समय के साथ कमरे के तापमान (<50°C) के करीब संचालित होता है, जिससे गर्मी के प्रति संवेदनशील सामग्रियों को नुकसान से बचाया जा सकता है।

• बेहतर सफाई: पारंपरिक गीली सफाई विधियों की सीमाओं को पार करते हुए, स्तर≤0.1nm पर दूषित पदार्थों को हटाता है।

• पर्यावरण-अनुकूल और शुष्क प्रक्रिया: रासायनिक सॉल्वैंट्स और अपशिष्ट जल को समाप्त करता है; विषाक्त उप-उत्पाद उत्पन्न किए बिना अक्रिय/प्रतिक्रियाशील गैसों का उपयोग करता है।

• बुद्धिमान और पता लगाने योग्य: पूर्ण उत्पादन डेटा ट्रेसबिलिटी के साथ स्मार्ट प्रक्रिया नियंत्रण की सुविधा।

  
  

           ◇◇ प्रक्रिया निष्पादन  ◇◇

                             

                                     उपचार से पहले, संपर्क कोण = 85.6° उपचार के बाद, संपर्क कोण = 14.3°

◇◇  तकनीकी विशिष्टताएँ  ◇◇

चैम्बर क्षमता	110L
चैंबर का आकार	525(डब्ल्यू)×445(डी)×495(एच)मिमी
पावर रेंज	0-600W से लगातार समायोज्य, परिशुद्धता ±1%
आकाशवाणी आवृति	13.56 मेगाहर्ट्ज ± 0.05%
प्रसंस्करण गति	3~10 मिनट (प्रसंस्करण प्रदर्शन के अधीन)
प्रसंस्करण के बाद का प्रदर्शन	जल संपर्क कोण<15°
मिलान विधि	स्वचालित प्रतिबाधा मिलान नेटवर्क
इलेक्ट्रोड प्रकार	समानांतर प्लेट कैपेसिटिव युग्मन
इलेक्ट्रोड सामग्री	उद् - द्वारीकरण स्फटयातु
इलेक्ट्रोड प्लेट विन्यास	क्षैतिज, 4 इलेक्ट्रोड (क्षैतिज इलेक्ट्रोड परतों की संख्या या ऊंचाई समायोजित की जा सकती है) कैसेट लोडिंग उपलब्ध है
इलेक्ट्रोड फिक्सिंग विधि	प्लग-इन वियोज्य
वैक्यूम पंप	रोटरी वेन मैकेनिकल पंप
पम्पिंग गति	60m³/घंटा
परम निर्वात डिग्री	≤5Pa
ऑपरेटिंग वैक्यूम रेंज	10-100Pa
प्रक्रिया गैस की चैनल संख्या	मानक 2 चैनल. एकाधिक चैनल वैकल्पिक हैं
गैस के प्रकार	अर, ओ₂, एन₂, एच₂. संक्षारक गैस CF₄ वैकल्पिक है
गैस नियंत्रण विधि	मास फ्लो नियंत्रक (एमएफसी)
एमएफसी माप सीमा और सटीकता	0-300 एससीएम, सटीकता ±2% एफएस
ट्रे का आकार लोड हो रहा है	400मिमी(एल)*473मिमी(डब्ल्यू)
उपकरण का आकार	900(डब्ल्यू)×1100(डी)×1750 (एच)मिमी (तिरंगा प्रकाश की ऊंचाई को छोड़कर)
उपकरण का वजन	लगभग 450KG

◇◇  एक आवेदन क्षेत्र  ◇◇