| Disponibilitate: | |
|---|---|
| Cantitate: | |
PTC-CCP110
PTC
◇◇ Prezentare generală ◇◇
Oferă pretratare fiabilă a suprafeței pentru procesele critice, inclusiv imprimare, acoperire, laminare și încapsulare, abordând în același timp probleme comune precum aderența slabă, acoperirea neuniformă și lipirea slabă. În plus, curățarea cu plasmă oferă o alternativă uscată ecologică, eficientă și controlabilă la metodele tradiționale de curățare pe bază de solvenți.
◇◇ Compoziție ◇◇
Compus în principal din cameră de vid, plăci cu electrozi, sursă de alimentare cu frecvență radio (RF), potrivire și pompă de vid.
◇◇ Caracteristici ◇◇
Procesare la temperatură scăzută și rapidă: funcționează în apropierea temperaturii camerei (<50°C) cu cicluri scurte, prevenind deteriorarea materialelor sensibile la căldură.
Curățare superioară: Îndepărtează contaminanții la nivel≤0,1 nm, depășind limitele metodelor tradiționale de curățare umedă.
Proces ecologic și uscat: elimină solvenții chimici și apele uzate; utilizează gaze inerte/reactive fără a genera subproduse toxice.
Inteligent și urmăribil: Dispune de control inteligent al procesului cu trasabilitate completă a datelor de producție.
◇◇ Performanța procesului ◇◇


înainte de tratament, unghi de contact = 85,6° după tratament, unghi de contact = 14,3°
◇◇ tehnice Specificații ◇◇
Capacitatea camerei |
110L |
| Dimensiunea camerei | 525(L)×445(D)×495(H)mm |
| Gama de putere | Ajustabil continuu de la 0 la 600 W, precizie ±1% |
| Frecvența radio | 13,56 MHz ± 0,05% |
| Viteza de procesare | 3~10 minute (în funcție de performanța procesării) |
| Performanță de post-procesare | Unghi de contact cu apa < 15° |
| Metoda de potrivire | Rețea de potrivire automată a impedanței |
| Tip electrod | Cuplaj capacitiv cu plăci paralele |
| Materialul electrodului | Aluminiu anodizat |
Configurația plăcii cu electrozi |
Orizontală, 4 electrozi (numărul de straturi orizontale de electrozi sau înălțimea poate fi ajustată) Încărcarea casetelor este disponibilă |
Metoda de fixare a electrodului |
Plug-in detasabil |
Pompa de vid |
Pompă mecanică cu palete rotative |
Viteza de pompare |
60m³/h |
Gradul maxim de vid |
≤5Pa |
Gama de vid de funcționare |
10-100Pa |
Numărul canalului de gaz de proces |
Standard 2 canale. Mai multe canale sunt opționale |
| Tipuri de gaze | Ar, O₂, N2, H2. Gazul corosiv CF₄ este Opțional |
| Metoda de control al gazelor | Controler de debit de masă (MFC) |
| Interval de măsurare și precizie MFC | 0-300 sccm, precizie ±2% FS |
| Dimensiunea tavii de încărcare | 400 mm (L)*473mm (L) |
| Dimensiunea echipamentului | 900(L)×1100(D)×1750 (H)mm (excluzând înălțimea luminii tricolore) |
| Greutatea echipamentului | Aproximativ 450 kg |
◇◇ aplicare Zona de ◇◇
Ambalare semiconductoare (dezlipire, activare la suprafață), fabricare cip LED, electronică 3C, Placă de circuite, Biomedicină, Energie nouă, Aviație militară.