| Доступност: | |
|---|---|
| Количина: | |
ПТЦ-ЦЦП110
ПТЦ
◇◇ Преглед ◇◇
Пружа поуздану предтретман површине за критичне процесе, укључујући штампање, премазивање, ламинацију и инкапсулацију, док се бави уобичајеним проблемима као што су лоше приањање, неуједначен премаз и слабо везивање. Штавише, чишћење плазмом нуди еколошки прихватљиву, ефикасну и суву алтернативу традиционалним методама чишћења на бази растварача.
◇◇ Композиција ◇◇
Углавном се састоји од вакуум коморе, електродних плоча, радио-фреквентног (РФ) напајања, упаривача и вакуум пумпе.
◇◇ Карактеристике ◇◇
Ниска температура и брза обрада: Ради близу собне температуре (<50°Ц) са кратким периодима циклуса, спречавајући оштећење материјала осетљивих на топлоту.
Врхунско чишћење: Уклања загађиваче на нивоу≤0,1нм, превазилазећи границе традиционалних метода мокрог чишћења.
Еколошки прихватљив и сув процес: елиминише хемијске раствараче и отпадне воде; користи инертне/реактивне гасове без стварања токсичних нуспроизвода.
Интелигентно и следљиво: Садржи паметну контролу процеса са потпуном следљивошћу производних података.
◇◇ Перформансе процеса ◇◇


пре третмана, контактни угао = 85,6° након третмана, контактни угао = 14,3°
◇◇ Техничке спецификације ◇◇
Капацитет коморе |
110L |
| Величина коморе | 525(Ш)×445(Д)×495(В)мм |
| Опсег снаге | Континуирано подесиво од 0-600В, прецизност ±1% |
| Радио фреквенција | 13,56МХз ± 0,05% |
| Брзина обраде | 3~10 минута (у зависности од учинка обраде) |
| Перформансе накнадне обраде | Угао контакта са водом < 15° |
| Метода подударања | Мрежа за аутоматско усклађивање импедансе |
| Тип електроде | Паралелна плоча капацитивна спрега |
| Материјал електроде | Анодизовани алуминијум |
Конфигурација електродне плоче |
Хоризонтално, 4 електроде (број хоризонталних слојева електроде или висина се може подесити) Учитавање касете је доступно |
Метода фиксирања електрода |
Плуг-ин одвојиви |
Вакум пумпа |
Механичка пумпа са лопатицама |
Брзина пумпања |
60м⊃3;/х |
Крајњи степен вакуума |
≤5Па |
Радни опсег вакуума |
10-100Па |
Број канала процесног гаса |
Стандардна 2 канала. Више канала је опционо |
| Врсте гаса | Ар, О₂, Н2, Х2. Корозивни гас ЦФ₄ је опционо |
| Метода контроле гаса | Контролор масовног протока (МФЦ) |
| МФЦ опсег и тачност мерења | 0-300 сццм, тачност ±2% ФС |
| Величина лежишта за учитавање | 400 мм (Д)*473 мм (Ш) |
| Величина опреме | 900(Ш)×1100(Д)×1750 (В)мм (без висине тробојног светла) |
| Тежина опреме | Око 450 кг |
◇◇ Област примене ◇◇
Паковање полупроводника (одлепљивање, површинска активација), производња ЛЕД чипова, 3Ц електроника, штампана плоча, биомедицина, нова енергија, војна авијација.