Skanlayıcı Akustik Tomoqrafiya (SAT) yarımkeçirici materialların və cihazların dağıdıcısız sınaqdan keçirilməsi və qiymətləndirilməsi üçün yarımkeçiricilər sənayesində dəyərli vasitədir. Bu texnologiya keyfiyyətə nəzarət, prosesin optimallaşdırılması və nasazlıqların təhlili üçün kritik məlumatları təmin edərək daxili strukturların, qüsurların və material xassələrinin yüksək keyfiyyətli təsvirlərini yaratmaq üçün səs dalğalarından istifadə edir.
Skanlanan Akustik Tomoqrafiya (SAT) ultrasəs impulslarını sınaqdan keçirilən materiala ötürməklə və əks-sədaların geri qayıtması üçün lazım olan vaxtı ölçməklə işləyir. Bu məlumatlar daha sonra analitiklərə materialın keyfiyyətini vizuallaşdırmağa və qiymətləndirməyə imkan verən daxili strukturun üçölçülü görüntüsünü yaratmaq üçün istifadə olunur.
SAT yerinə yetirməzdən əvvəl yarımkeçirici nümunəni düzgün hazırlamaq vacibdir. Buraya səs dalğalarına mane ola biləcək hər hansı çirkləndiriciləri təmizləmək üçün səthin təmizlənməsi və nümunənin skan üçün düzgün yerləşdirilməsini təmin etmək daxildir.
Tarama zamanı nümunə ultrasəs çeviricisinin bütün səthi skan etməsinə imkan verən bir neçə istiqamətdə hərəkət edə bilən səhnəyə yerləşdirilir. Transduser materiala nüfuz edən və daxili strukturlar və qüsurlarla əks olunan ultrasəs dalğaları yayır. Daha sonra əks olunan dalğalar transduser tərəfindən aşkar edilir və daxili strukturun görüntüsünü yaratmaq üçün istifadə olunur.
Tarama başa çatdıqdan sonra daxili strukturun təfərrüatlı görüntüsünü yenidən qurmaq üçün xüsusi proqram təminatından istifadə etməklə məlumatlar işlənir. Bu şəkil boşluqlar, çatlar və təbəqələşmə qüsurları kimi qüsurları aşkar edə bilər, həmçinin sıxlıq və elastiklik kimi material xüsusiyyətləri haqqında məlumat verə bilər.
Yarımkeçiricilər sənayesində SAT-dan istifadənin son mərhələsi istehsal olunan şəkilləri təhlil etmək və şərh etməkdir. Bu, nümunənin keyfiyyəti və xüsusiyyətləri haqqında hərtərəfli anlayış əldə etmək üçün qüsurların müəyyən edilməsi və kəmiyyətinin müəyyən edilməsi, material xüsusiyyətlərinin qiymətləndirilməsi və tapıntıların digər sınaq nəticələri ilə əlaqələndirilməsini əhatə edə bilər.
Yekun olaraq, Scanning Akustik Tomoqrafiya yarımkeçiricilər sənayesində dağıdıcı olmayan sınaq üçün güclü vasitədir və yarımkeçirici materialların və cihazların daxili strukturu və xassələri haqqında dəyərli fikirlər təqdim edir. Nümunələrin hazırlanması, skan edilməsi və təsvirin təhlili üçün müvafiq prosedurlara riayət etməklə SAT yarımkeçirici istehsalçılarına məhsulun keyfiyyətini yaxşılaşdırmağa, istehsal proseslərini optimallaşdırmağa və qüsur və nasazlıq riskini azaltmağa kömək edə bilər.
