1. Quid est plasma
Plasma, quartus materiae status, est substantia gaseosa ionizata ex atomis quibusdam electronicis ablatis et positivis et negativis post atomorum ionizationem genitis. Hic gas ionizatus constat ex atomis, moleculis, coetibus atomicis, ionibus et electrons. Applicatio in superficie obiecti consequi potest purgationem ultra-mundam, superficiem activationem, engraving, et plasma superficiei obiectorum coating.
2. Quomodo artificiose consequi plasma
Plasma generari potest per media artificialia sicut fusione nuclei, fissionis nuclearis, ardore missionis et variae missionis. Variae plasmatis species etiam per methodos missionem artificiales produci possunt, maxime incluso: rutilans (lucernae fluorescentium), arcus (arcus electricus), et corona missio (saepe circa lineas altas volitationes visae). Ad subtilitatem superficies purgatio, superficies activationis et modificationis, necnon processus superficiei materiae bioengineering, materiarum materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, materiarum, chartarum, humilis temperaturae plasma ex ardore missionis generatae, corona missio, et impedimentum dielectricum plerumque adhibetur.
In magno frequentia electrica campi, moleculae gasi sicut oxygeni, nitrogenii, methani et vaporum aquae sub pressura depressae possunt in atomos acceleratos et moleculas in ardore emissionis corrumpi possunt. Electrona hoc modo generata et atomi et moleculae in criminibus affirmativis et negativis dissociantibus collidunt cum moleculis circum vel atomis, inde in excitatione electronicorum in moleculis et atomis, quae ipsae sunt in statu concitato vel ionico. Hic status materiae est in statu plasmatis.
3. Quae genera plasma ibi sunt?
1) Summus temperatus plasma et humilis-temperatus plasma. Summus temperatura plasma refertur ad plasma ionizatum vel localiter thermally aequilibratum ubi temperatura electronica est prorsus aequalis temperaturis ion et gasi. Temperaturae omnium particularum fere sunt idem. Temperatura est altissima, de more 10−10 6K attingens 8 (circiter 100-100 decies centena gradus Celsius). Plasma humilis temperatura in aequilibrio non-thermali statu est, ubi electronica temperatura multo altior est quam temperaturas ionum et neutrarum particularum. Propter nimiam vehementiam effectus plasmatis summus temperatus in superficie rerum, raro in applicationibus practicis adhibetur, et nunc solum humilis temperatura plasma in usu est.
2) Plasma vaporum reciproci et non reciproci. Haec divisio fundatur in proprietatibus chemicis gasorum ad plasma generandum. Gases non reactivos includunt argon (Ar), nitrogen (N2), nitrogenium fluoride (NF3), carbo tetrafluoride (CF4), etc., dum vapores reacivi includunt oxygenium (O2), hydrogenium (H2), etc. Reactio mechanismi diversorum generum gasorum in processu purgativo diversi sunt, cum plasma gasorum reactivorum chemicorum reactivitatis fortius exhibens.
4. Quid sunt commercium inter superficies plasmatis et objecti?
Reactio chemica inter plasma et superficiei workpiece multum differt a reactionibus chemicis conventionalibus. Ob bombardarum altae velocitatis electrons, multi vapores seu vapores qui sunt in cella temperie stabilis, agere possunt cum superficie operis in forma plasmatis, multos effectus singulares et utiles producentes;
1) Purgatio et engraving: Exempli gratia, in purgatione, oxygeni saepe ponitur sicut gas operari. Cum emittebat ab electrons accelerato, convertitur in iones oxygeni et radicales liberas, quae validas proprietates oxidizationes exhibent. Contaminantes in superficie fabricae, ut unctum, fluxum, photoresista, emissio agentis, et ferrum oleum, cito oxidized in dioxide et aqua carbonis, quae deinde sentinam vacuum exhauriunt, metam obtinentes superficiei purgandae et humidabilitatis et adhaesionis emendandae. Plasma temperaturae humilis curatio solum tenui superficiem materiae (<10nm) implicat et proprietates materiae mole non afficit. Quia purgatio plasma sub alto vacuo peragitur, variae notae in plasmatis activae longum medium liberum iter habent, eorumque ingenii penetratio et permeatio validi sunt, ut curationem structurarum complexorum, etiam fistulae tenuis et foramina caeca, efficiant.
2) Prooemium coetuum functionum: Plasma tractatio materiae polymerorum cum gasis, ut N2, NH3, O2, SO2 compositionem chemicam superficiei mutare potest et novas coetus functionum functiones correspondentes inducere: -NH2, -OH, -COOH, -SO3H, etc. Hi coetus functiones omnino inertes subiectas transformare possunt ut polyethylene, polypropylene, polystyrenum, et polystyrenum, et polystyrenum in operando, ac polytenum, polystyrenum, et polystyrenum, et polytenum, polystyrenum, et polytenum, superficiei functionis in operando, et polytenum, polystyrenum, et polystyrenos, et polytenum, polystyrenum, et polytenum, in operando, etc. Hi coetus functiones functiones polymerorum iners subiectas omnino iners subiectas transformare possunt, ut polyethylene, polypropylenae, polystyrenae, et polystyrene, et polyte- tyrenum in operando, et polytenum in superficiei functionis wettability, bondability, reactivity, eorumque valorem multum augens. E contra oxygeni plasma, curatio plasma-caliditas cum gasorum fluorino-continentibus, atomos fluorinos in superficiem substratam inducere potest, hydrophobicitatem subiectam impertiens.
3) Polymerization: Multi monomerorum vinyllorum, ut ethylene et styrene, polymerizationem subire possunt in superficie structurarum sub condicione plasmatis sine necessitate aliorum catalystarum vel initiatorum. Etiam substantiae quae sub condicionibus conventionalibus polymerari non possunt, ut methane, ethane et benzene, polymerizationem transversim subire possunt in superficie operis partium sub condicionibus plasmatis. Haec stratum polymericum valde densum et valde coniunctum subiecto esse potest. In regionibus externis, plasticae utriculi cervisiae et fundi autocineti autocineti obducti sunt tam denso strato per plasma polymerizationis ne micro-lakas. Superficies materiae polymericae biomedicae etiam cum hoc denso strato liniri potest, ne diffusio substantiarum toxicarum, qualis est materia plastica a plasticis in tela humana. Partes opticae saepe possunt cum apta pellicula optica in superficie per plasmatis polymerizationis mensuras obduci, quo augendae partium opticorum perficiendorum.
4) Plasma insitionis effecerunt;
Processus involvit radicales liberas activas generans in superficie materiae polymerorum per plasma praetractatio, quae efficit polymerizationem monomerorum vinyllorum in superficie materiali. Plasma etiam motus insitionis in aliquibus superficiebus irregularibus inducere potest, sicut parietes interiores utrium. Opportunae insitionis monomers eligendo ac moderantes condiciones reactionis aptae insitionis, hydrophilicitas vel aquae repellentia, adhaesio, resistentia corrosio, resistentia, conductivity, permeabilitas selectivity ac biocompatibilitas materiae mutari possunt. Ideo plasma insitio valde porttitor ac magnas applicationes exspectationum tenet.
