குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங்கில், முன்னணி பிரேம்களில் நுண்ணிய மாசுபாடு கடுமையான உற்பத்தி சவால்களை உருவாக்குகிறது. வயர் பிணைப்பு தோல்விகள், டை அட்டாச் வாயிடிங் மற்றும் மோல்ட் காம்பவுண்ட் டெலாமினேஷன் போன்ற முக்கியமான குறைபாடுகளை நீங்கள் அடிக்கடி சந்திக்க நேரிடும். இந்த மறைக்கப்பட்ட குறைபாடுகள் சாதனத்தின் இறுதி நம்பகத்தன்மையை சமரசம் செய்து, உற்பத்தித் தளத்தில் ஸ்கிராப் விகிதங்களை கடுமையாக உயர்த்துகின்றன. இந்த பரவலான சிக்கலைத் தீர்க்க, டை அட்டாச் மற்றும் வயர் பிணைப்பு படிகளுக்கு முன் உடனடியாக ஒரு வெற்றிட பிளாஸ்மா கிளீனரை பொறியாளர்கள் பயன்படுத்துகின்றனர். இந்த சிறப்பு உபகரணமானது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை வேதியியல் ரீதியாகவும் உடல் ரீதியாகவும் மூலக்கூறு மட்டத்தில் மாற்றுகிறது.
இது கண்ணுக்கு தெரியாத எச்சங்களை திறம்பட நீக்குகிறது மற்றும் உகந்த ஒட்டுதலுக்காக உலோக மேற்பரப்புகளை செயல்படுத்துகிறது. இந்த கட்டுரையில், உற்பத்தி நிலைமைகளின் கீழ் இந்த வெற்றிட அமைப்புகள் எவ்வாறு செயல்படுகின்றன என்பதை புறநிலையாக மதிப்பீடு செய்கிறோம். நாங்கள் ஒருங்கிணைப்பு உண்மைகளை ஆராய்வோம் மற்றும் முன்னணி சட்ட செயலாக்கத்திற்கான முக்கிய தேர்வு அளவுகோல்களை கோடிட்டுக் காட்டுகிறோம். வெற்றிட மற்றும் வளிமண்டல அமைப்புகளுக்கு இடையே உள்ள முக்கியமான இயந்திர வேறுபாடுகளை நீங்கள் அறிந்து கொள்வீர்கள். உங்களின் குறிப்பிட்ட உலோகவியல் தேவைகளை முழுமையாகப் பொருத்துவதற்கு சரியான செயல்முறை வாயுக்களை தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம் நாங்கள் உங்களுக்கு வழிகாட்டுவோம்.
வெற்றிட பிளாஸ்மா கிளீனர்கள் மூன்று முக்கியமான செயல்பாடுகளைச் செய்கின்றன: மைக்ரோ-க்ளீனிங் கரிம எச்சங்கள், உலோக ஆக்சைடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் மேற்பரப்பு ஆற்றலை அதிகரிப்பது (ஈரத்தன்மை).
வளிமண்டல அமைப்புகளைப் போலல்லாமல், வெற்றிட பிளாஸ்மா சிக்கலான 3D வடிவியல் மற்றும் அடுக்கப்பட்ட இதழ்களை வெப்ப சேதத்தை ஏற்படுத்தாமல் ஐசோட்ரோபிகல் முறையில் ஊடுருவுகிறது.
வாங்குபவர்கள் அறை வடிவமைப்பு, RF ஜெனரேட்டர் அதிர்வெண் மற்றும் தானியங்கு கையாளுதல் திறன்களை அவற்றின் குறிப்பிட்ட செயல்திறன் மற்றும் மகசூல் தேவைகளுக்குப் பொருந்துமாறு மதிப்பீடு செய்ய வேண்டும்.
மொத்த உரிமைச் செலவு (TCO) வெற்றிட பம்ப் பராமரிப்பு, சுழற்சி நேர வரம்புகள் மற்றும் குறிப்பிட்ட செயல்முறை எரிவாயு நுகர்வு ஆகியவற்றால் பெரிதும் பாதிக்கப்படுகிறது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகள் தவிர்க்க முடியாமல் பல்வேறு நுண்ணிய எச்சங்களை விட்டுச் செல்கின்றன. சாதாரண பரிசோதனையின் கீழ் இந்த சுவடு அசுத்தங்களை நீங்கள் பார்க்க முடியாது. இருப்பினும், அவை அடுத்தடுத்த பிணைப்பு மற்றும் இணைத்தல் செயல்முறைகளை கடுமையாக சீர்குலைக்கின்றன. ஒரு வெற்றிட பிளாஸ்மா கிளீனர் இந்த சிக்கலான ஒட்டுதல் பிரச்சனைகளை மூன்று முதன்மை வழிமுறைகள் மூலம் தீர்க்கிறது.
அப்ஸ்ட்ரீம் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் டைசிங் செயல்பாடுகள் தேவையற்ற கரிமப் பொருட்களை ஈயச் சட்டங்களில் சிதற விடுகின்றன. நீங்கள் அடிக்கடி பிடிவாதமான கார்பன் அடிப்படையிலான அசுத்தங்களை சந்திப்பீர்கள் மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கை எச்சங்களை கண்டுபிடிப்பீர்கள். மேலும், முந்தைய குணப்படுத்தும் நிலைகளில் இருந்து வெளியேற்றப்பட்ட எபோக்சிகள் பெரும்பாலும் அடி மூலக்கூறில் மீண்டும் குடியேறுகின்றன. பாரம்பரிய ஈரமான இரசாயன சுத்தம் இந்த மெல்லிய பிலிம்களை முழுவதுமாக அகற்ற போராடுகிறது. வெற்றிட அறையில் கெமிக்கல் டி-ஸ்கம்மிங் இந்த பிடிவாதமான ஆர்கானிக் பிலிம்களை வெற்றிகரமாக நீக்குகிறது. அதிக வினைத்திறன் கொண்ட வாயு தீவிரவாதிகள் முன்னணி சட்டத்தில் தங்கியிருக்கும் கார்பன் அணுக்களுடன் பிணைக்கப்படுகின்றன. இந்த தொடர்ச்சியான இரசாயன எதிர்வினை கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் நீராவி போன்ற ஆவியாகும் துணை தயாரிப்புகளை உருவாக்குகிறது. ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட வெற்றிட பம்ப் பின் தொடர்ந்து இந்த பாதிப்பில்லாத வாயுக்களை அறைக்கு வெளியே வெளியேற்றுகிறது. இந்த துல்லியமான இரசாயனப் பிரித்தெடுத்தல், பிணைப்புக்குத் தயாராக இருக்கும் விதிவிலக்காக சுத்தமான அடிப்படைப் பொருளை உங்களுக்கு விட்டுச் செல்கிறது.
காலப்போக்கில் சுற்றுப்புற தொழிற்சாலை காற்றில் வெளிப்படும் போது உலோகங்கள் இயற்கையாகவே ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகின்றன. செப்பு ஈயச் சட்டங்கள் விரைவான, கட்டுப்பாடற்ற ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு குறிப்பாக பாதிக்கப்படக்கூடியவை. இந்த இயற்கையாக நிகழும் ஆக்சைடு அடுக்கு ஒரு திடமான மின் இன்சுலேட்டராக செயல்படுகிறது. உணர்திறன் கம்பி இணைப்பு கட்டங்களின் போது நம்பகமான இடை உலோக பிணைப்பை இது தீவிரமாக தடுக்கிறது. இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பிளாஸ்மா செயல்முறைகள் இந்த பிரச்சனைக்குரிய ஆக்சிஜனேற்ற அடுக்குகளை திறம்பட அகற்றும். அவை ஆக்சிஜனேற்றத்தின் அடியில் உள்ள தூய்மையான, சமரசம் செய்யப்படாத உலோகத்தை வெற்றிகரமாக வெளிப்படுத்துகின்றன. இந்த வெளிப்படையான தூய உலோகம் வலுவான, அதிக கடத்தும் கம்பி பிணைப்புகளை நிறுவுவதற்கு முற்றிலும் முக்கியமானது. இந்த அடர்த்தியான ஆக்சைடுகளை அகற்றாமல், நீங்கள் நீண்ட கால சாதனம் செயலிழக்க மற்றும் துறையில் கடுமையான செயல்திறன் சிதைவு ஆபத்து.
முன்னணி பிரேம்கள் பெரும்பாலும் ஆரம்பத்தில் மிகக் குறைந்த மேற்பரப்பு ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளன. இந்த குறைந்த மேற்பரப்பு ஆற்றல் திரவ பசைகள் மேற்பரப்பு முழுவதும் சமமாக பரவுவதை தடுக்கிறது. காற்றுக் குமிழ்களைப் பிடிக்காமல் ஒரே சீராகப் பாய்வதற்கு, டை-அட்டாச் எபோக்சிகள் மற்றும் என்காப்சுலேஷன் மோல்டிங் கலவைகள் தேவை. அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பு ஆற்றலை வியத்தகு முறையில் அதிகரிப்பதன் மூலம் மேற்பரப்பு செயல்படுத்தல் இந்த ஓட்ட சிக்கலை தீர்க்கிறது. செயலில் உள்ள பிளாஸ்மா உலோக மேற்பரப்பின் மேல் அடுக்குக்கு துருவ செயல்பாட்டுக் குழுக்களை அறிமுகப்படுத்துகிறது. இந்த இரசாயன மாற்றமானது திரவத்தை விரட்டும் ஹைட்ரோபோபிக் நிலையிலிருந்து திரவத்தை உறிஞ்சும் ஹைட்ரோஃபிலிக் நிலைக்கு மாற்றுகிறது. மேம்படுத்தப்பட்ட ஈரத்தன்மை முழு ஈயச் சட்டத்திலும் ஒரே மாதிரியான பிசின் ஓட்டம் மற்றும் திடமான ஒட்டுதலை உறுதி செய்கிறது. இது களப் பயன்பாடு மற்றும் வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் போது பேரழிவு தரும் பேக்கேஜ் டிலாமினேஷனை நேரடியாகத் தடுக்கிறது.
பொறியாளர்கள் ஒரு கோட்டை அமைக்கும் போது வெற்றிட மற்றும் வளிமண்டல பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பங்களுக்கு இடையே அடிக்கடி விவாதம் செய்கிறார்கள். ஒவ்வொரு தொழில்நுட்பமும் தனித்தனியான உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது மற்றும் வெவ்வேறு உற்பத்தி அமைப்புகளுக்குப் பொருந்துகிறது. இருப்பினும், பேக்கேஜிங் பயன்பாடுகள் பொதுவாக வெற்றிட அமைப்புகளை பல மேலதிக தொழில்நுட்ப காரணங்களுக்காக ஆதரிக்கின்றன.
வெற்றிட அமைப்புகள் ஒவ்வொரு சாத்தியமான கோணத்திலிருந்தும் முழு முன்னணி சட்டத்தையும் ஒரே மாதிரியாக செயலாக்குகின்றன. குறைந்த அழுத்த சூழல் செயலில் உள்ள பிளாஸ்மா வாயுவை அனைத்து திசைகளிலும் ஐசோட்ரோபிகல் முறையில் விரிவாக்க அனுமதிக்கிறது. தொகுதி ஏற்றப்பட்ட பத்திரிகைகளின் குறிப்பிடத்தக்க இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையில் இது எளிதில் ஊடுருவுகிறது. ஒவ்வொரு தனிப்பட்ட கூறுகளின் ஒவ்வொரு நுண்ணிய மேற்பரப்பிலும் நீங்கள் மிகவும் நிலையான சுத்தம் பெறுவீர்கள். வளிமண்டல அமைப்புகள் நடைமுறையில் மிகவும் வித்தியாசமாக செயல்படுகின்றன. அவை கண்டிப்பாக பிளாஸ்மாவை கீழ்நோக்கி தெளிக்கும் பார்வைக் கருவிகள். அவை செயலில் உள்ள பிளாஸ்மா முனைக்கு கீழே நேரடியாக அமைந்துள்ள மேற்பரப்புகளை மட்டுமே சுத்தம் செய்கின்றன. அவர்களால் சிக்கலான 3D வடிவவியல், அண்டர்கட்கள் அல்லது அடர்த்தியாக நிரம்பிய பத்திரிகைகளை திறம்பட சுத்தம் செய்ய முடியாது.
அல்ட்ரா-மெல்லிய முன்னணி பிரேம்கள் திடீர் வெப்ப வார்பேஜ்க்கு மிகவும் எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன. உயர் உள்ளூர் வெப்பநிலை கடுமையான அழுத்தத்தைத் தூண்டுகிறது மற்றும் உலோக கட்டமைப்பை உடல் ரீதியாக சிதைக்கிறது. ஒரு வெற்றிட பிளாஸ்மா கிளீனர் கணிசமாக குறைந்த ஒட்டுமொத்த வெப்பநிலையில் செயல்படுகிறது. தனித்துவமான குறைந்த அழுத்த சூழல் ஒரு நிலையான குளிர் பிளாஸ்மா நிலையை உருவாக்குகிறது. இந்த நிலை மெல்லிய அடி மூலக்கூறுகளுக்கு திடீர் வெப்ப சேதத்தின் அபாயத்தைத் தணிக்கிறது. வளிமண்டல அமைப்புகள் பெரும்பாலும் செயல்பாட்டின் போது கணிசமான உள்ளூர் வெப்பத்தை உருவாக்குகின்றன. நுட்பமான அடி மூலக்கூறுகளை சிதைப்பதைத் தடுக்க அவர்களுக்கு கவனமாக கன்வேயர் வேக ஒழுங்குமுறை மற்றும் கடுமையான தூரக் கட்டுப்பாடுகள் தேவை.
வெற்றிட அறைகள் சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாடு தொடர்பான முழுமையான துல்லியத்தை வழங்குகின்றன. துல்லியமான உலோகவியல் தேவைகளுக்கு ஏற்ப சிறப்பு வாயுக்களை நீங்கள் துல்லியமாக கலக்கலாம். வழக்கமான சிறப்பு கலவைகளில் ஆர்கான், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஹைட்ரஜன் ஆகியவற்றின் மாறுபட்ட விகிதங்கள் அடங்கும். உடல் குண்டுவீச்சு மற்றும் இரசாயன சுத்தம் ஆகியவற்றை சமநிலைப்படுத்த இந்த வாயு விகிதங்களை நீங்கள் நன்றாக சரிசெய்யலாம். இந்த துல்லியமான சுற்றுச்சூழல் கட்டுப்பாட்டை வளிமண்டல அமைப்புகள் கடுமையாகக் கொண்டிருக்கவில்லை. அவை முதன்மையாக நிலையான சுருக்கப்பட்ட காற்று அல்லது நைட்ரஜன் போன்ற தூய மந்த வாயுக்களை நம்பியுள்ளன. திறந்தவெளி சூழலில் கடுமையான வெடிப்பு அபாயங்கள் இருப்பதால், ஹைட்ரஜன் கொண்ட எதிர்வினை கலவைகளை அவர்களால் பாதுகாப்பாக கையாள முடியாது.
பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பங்களின் ஒப்பீடு
அம்சம் |
வெற்றிட பிளாஸ்மா |
வளிமண்டல பிளாஸ்மா |
|---|---|---|
ஊடுருவல் |
ஐசோட்ரோபிக் (முழு 3D கவரேஜ்) |
லைன் ஆஃப் சைட் (2டி மேற்பரப்பு மட்டும்) |
வெப்ப தாக்கம் |
குறைந்த (குளிர் பிளாஸ்மா) |
மிதமான முதல் உயர் |
வாயு நெகிழ்வுத்தன்மை |
உயர் (ஆர்கான், ஆக்ஸிஜன், ஹைட்ரஜன்) |
குறைந்த (அமுக்கப்பட்ட காற்று, நைட்ரஜன்) |
தொகுதி செயலாக்கம் |
அடர்த்தியான இதழ்களுக்கு சிறந்தது |
மோசமானது (ஒற்றை இன்லைன் அலகுகளுக்கு சிறந்தது) |
வாங்குவதற்கு முன் உங்கள் குறிப்பிட்ட உற்பத்தி வரி தேவைகளை மதிப்பீடு செய்ய வேண்டும். துல்லியம் மிக முக்கியமான இடத்தில் அதிக அடர்த்தி, தொகுதி நிலை சீரான வெற்றிட அமைப்புகளைத் தேர்வு செய்யவும். நீங்கள் உணர்திறன் பொருட்கள் மற்றும் மிகவும் சிக்கலான வடிவவியலில் வேலை செய்யும் போது அவை சிறந்து விளங்குகின்றன. மாறாக, அதிவேக, இன்லைன் செயலாக்கத்திற்கான வளிமண்டல அமைப்புகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும். தொடர்ச்சியான கன்வேயர் பெல்ட்டில் வேகமாக நகரும் தட்டையான, கட்டமைப்பு ரீதியாக எளிமையான வடிவவியலுக்கு அவை சிறப்பாகச் செயல்படுகின்றன.
எரிவாயு தேர்வு உங்கள் ஒட்டுமொத்த செயல்முறை மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை பெரிதும் பாதிக்கிறது. வெவ்வேறு வாயுக்கள் அறைக்குள் முற்றிலும் வேறுபட்ட இரசாயன மற்றும் உடல் எதிர்வினைகளைத் தூண்டுகின்றன. தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எரிவாயு செய்முறையை உங்கள் குறிப்பிட்ட ஈய சட்டப் பொருட்களுடன் கவனமாகப் பொருத்த வேண்டும்.
ஆர்கான் ஒரு கனமான, முற்றிலும் உன்னத வாயு. இது உடல் நீக்கம் மூலம் பிரத்தியேகமாக அடி மூலக்கூறுகளை சுத்தம் செய்கிறது, இது தொழிலில் ஸ்பட்டரிங் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. உயர் அதிர்வெண் கொண்ட RF புலம், அடி மூலக்கூறு நோக்கி கனமான ஆர்கான் அயனிகளை விரைவாக துரிதப்படுத்துகிறது. அவை அபரிமிதமான இயக்க ஆற்றலைக் கொண்டு அசுத்தமான மேற்பரப்பைத் தாக்குகின்றன. இந்த வன்முறை உடல் தாக்கம் உண்மையில் உலோக கட்டமைப்பில் இருந்து திட அசுத்தங்களை தட்டுகிறது. முழு செயல்முறையிலும் ஆர்கான் முற்றிலும் செயலற்றதாகவே உள்ளது. இது வேதியியல் ரீதியாக செயல்படாது அல்லது தற்செயலாக உலோகத்தை ஆக்ஸிஜனேற்றாது. ப்ரூட் இயக்க தாக்கத்தின் மூலம் கனமான, பிடிவாதமான மாசுபாட்டை அகற்ற இது கண்டிப்பாக சிறந்தது.
ஆக்ஸிஜன் அதிக வினைத்திறன் கொண்ட பிளாஸ்மா சூழலை உருவாக்குகிறது. இது இரசாயன சாம்பல் எனப்படும் ஒரு செயல்பாட்டில் குறிப்பிடத்தக்க வகையில் சிறந்து விளங்குகிறது. ஃப்ரீ ஆக்சிஜன் ரேடிக்கல்கள் சிக்கலான கரிம எச்சங்களை தீவிரமாகத் தாக்கி உடைக்கின்றன. அவை திடமான கார்பன் அடிப்படையிலான அசுத்தங்களை எளிதில் தீர்ந்துவிடும் நீராவி நிலைகளாக மாற்றுகின்றன. இருப்பினும், தூய ஆக்ஸிஜனைப் பயன்படுத்துவது சில உணர்திறன் உலோகங்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க அபாயங்களை ஏற்படுத்துகிறது. இது செம்பு அல்லது வெள்ளி பூசப்பட்ட ஈயச் சட்டங்களை விரைவாகவும் ஆழமாகவும் ஆக்ஸிஜனேற்றும். இந்த குறிப்பிட்ட பொருட்களின் சாலிடரபிலிட்டியை அழிக்காமல் இருக்க, நீங்கள் அதை மிகவும் எச்சரிக்கையுடன் பயன்படுத்த வேண்டும்.
வாயுவை உருவாக்குவது என்பது ஆர்கான் மற்றும் ஹைட்ரஜனின் கட்டமைப்பு ரீதியாக பாதுகாப்பான, வெடிக்காத கலவையாகும். இது பெரிதும் ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட்ட உலோகப் பரப்புகளில் முக்கிய இரசாயனக் குறைப்பைச் செய்கிறது. இந்த குறிப்பிட்ட கலவையானது வெற்று செப்பு ஈய சட்டங்களுக்கு சிகிச்சையளிப்பதற்கான மறுக்கமுடியாத தொழில் தரநிலையாகும். ஹைட்ரஜன் ரேடிக்கல்கள் மேற்பரப்பு உலோக ஆக்சைடுகளிலிருந்து ஆக்ஸிஜன் மூலக்கூறுகளை தீவிரமாக அகற்றுகின்றன. அவை மாயமாக எதிர்க்கும் செப்பு ஆக்சைடை மீண்டும் தூய, கடத்தும் தாமிரமாக மாற்றுகின்றன. எந்தவொரு புதிய கரிம எச்சங்களையும் விட்டு வைக்காமல் அவர்கள் இந்த அற்புதமான சாதனையை அடைகிறார்கள். சேர்க்கப்பட்ட ஆர்கான் ஒட்டுமொத்த பிளாஸ்மா உற்பத்தியை உறுதிப்படுத்த உதவுகிறது மற்றும் லேசான, நிரப்பு உடல் சுத்தம் வழங்குகிறது.
நவீன பேக்கேஜிங் அமைப்புகள் ஒற்றை, தனிமைப்படுத்தப்பட்ட வாயு வகையை அரிதாகவே நம்பியுள்ளன. மேம்பட்ட பொறியாளர்கள் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை அதிகரிக்க அடுக்கு, பல-படி சமையல் குறிப்புகளைப் பயன்படுத்துகின்றனர். மிகவும் பொதுவான அணுகுமுறை ஒரு குறுகிய, ஆரம்ப ஆக்ஸிஜன் படியை இயக்குவதை உள்ளடக்கியது. இது டைசிங் டேப்பில் இருந்து எஞ்சியிருக்கும் தடிமனான கரிம எச்சங்களை விரைவாக சாம்பலாக்குகிறது. ஒரு அடுத்தடுத்த ஆர்கான்/ஹைட்ரஜன் படி உடனடியாக ஆக்ஸிஜன் கட்டத்தைப் பின்பற்றுகிறது. இந்த இரண்டாவது படி கடுமையான ஆக்ஸிஜன் கட்டத்தில் உருவாகும் புதிய ஆக்சைடுகளை விரைவாக நீக்குகிறது. இந்த புத்திசாலித்தனமான இரண்டு-படி செயல்முறை முக்கிய ஆக்சைடு தடுப்புடன் ஆக்கிரமிப்பு கரிம சுத்தம் செய்யும் வேகத்தை சரியாக சமன் செய்கிறது.
சரியான வெற்றிட உபகரணங்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கு மிகவும் கவனமாக தொழில்நுட்ப மதிப்பீடு தேவைப்படுகிறது. உங்கள் அளவுருக்களை மதிப்பிடாமல் நீங்கள் வெறுமனே ஆஃப்-தி-ஷெல்ஃப் அலகுகளை வாங்க முடியாது. இயந்திரத்தின் விவரக்குறிப்புகளை உங்கள் தயாரிப்பு தேவைகளுக்கு நேரடியாக நீங்கள் சரியாக சீரமைக்க வேண்டும். விற்பனையாளர் முன்மொழிவுகளை மதிப்பாய்வு செய்யும் போது பின்வரும் முக்கியமான அளவுகோல்களைக் கவனியுங்கள்.
மின்முனை உள்ளமைவு (நேரடிக்கு எதிராக. கீழ்நிலை): பிளாஸ்மாவின் ஒட்டுமொத்த ஆக்கிரமிப்பு அளவை அடிப்படையில் மின்முனை அமைவு ஆணையிடுகிறது. நேரடி பிளாஸ்மா அமைப்புகள் இரண்டு செயலில் உள்ள மின்முனைகளுக்கு இடையில் முன்னணி சட்டத்தை வைக்கின்றன. இந்த உள்ளமைவு நேரடி அயனி குண்டுவீச்சு மூலம் மிகவும் தீவிரமான உடல் சுத்தம் செய்ய அனுமதிக்கிறது. நுட்பமான கூறுகள் இல்லாத வலுவான அடி மூலக்கூறுகளுக்கு இது மிகவும் நன்றாக வேலை செய்கிறது. கீழ்நிலை, அல்லது தொலைவில், பிளாஸ்மா பிரதான தலைமுறை மண்டலத்தை முழுவதுமாக தனிமைப்படுத்துகிறது. இது முற்றிலும் தனியான செயலாக்க அறைக்குள் எதிர்வினை தீவிரவாதிகளை மட்டுமே பாய்ச்சுகிறது. இந்த உள்ளமைவு நேரடி அயன் குண்டுவீச்சிலிருந்து உணர்திறன் செயலில் உள்ள IC களை பெரிதும் பாதுகாக்கிறது. இது எந்த பேரழிவு மின்னியல் வெளியேற்றம் (ESD) சேத அபாயங்களையும் கிட்டத்தட்ட நீக்குகிறது.
RF ஜெனரேட்டர் அதிர்வெண்: ஜெனரேட்டர் அதிர்வெண் உற்சாகமான அயனிகளின் உடல் நடத்தையை பெரிதும் ஆணையிடுகிறது. 13.56 மெகா ஹெர்ட்ஸ் அதிர்வெண் அடர்த்தியான, அதிக வினைத்திறன் மற்றும் சீரான பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. இது இரசாயன எதிர்வினை விகிதங்கள் மற்றும் உடல் துப்புரவு சக்தியை மிகச்சரியாக சமநிலைப்படுத்துகிறது, பெரும்பாலான நவீன குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கான முழுமையான நிலையான தேர்வாக செயல்படுகிறது. மாற்றாக, 40 kHz அதிர்வெண் தனிப்பட்ட அயனிகள் அதிக இயக்க ஆற்றலைப் பெற அனுமதிக்கிறது. இது மிகவும் கனமான, ஆக்கிரமிப்பு அயனி குண்டுவீச்சை மேற்பரப்பிற்கு வழங்குகிறது. ஆக்கிரமிப்பு உடல் பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்கு இது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும். இருப்பினும், இது மென்மையான மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளுக்கு சேதம் ஏற்படுவதற்கான அதிக ஆபத்தை அளிக்கிறது.
ஆட்டோமேஷன் மற்றும் தடம்: உபகரணங்கள் உங்கள் ஒட்டுமொத்த தொழிற்சாலை ஓட்டத்திற்கு எவ்வாறு பொருந்துகிறது என்பதை நீங்கள் விமர்சன ரீதியாக மதிப்பீடு செய்ய வேண்டும். தனித்த தொகுதி அமைப்புகள் பல ஏற்றப்பட்ட இதழ்களை ஒரே நேரத்தில் செயலாக்க முடியும். இருப்பினும், கைமுறையாக ஏற்றுதல் மற்றும் இறக்குதல் செயல்பாடுகளுக்கு அவர்களுக்கு பிரத்யேக ஆபரேட்டர்கள் தேவை. ஸ்ட்ரிப் ஹேண்ட்லர்கள் என அழைக்கப்படும் இன்லைன் தானியங்கி கையாளுதல் அமைப்புகள், உண்மையான பத்திரிகை-க்கு-பத்திரிகை ஆட்டோமேஷனை வழங்குகின்றன. அவை தனித்தனி கீற்றுகளை அறை வழியாக தானாக ரோபோ இன்டெக்சிங் மூலம் சீராக ஊட்டுகின்றன. விலையுயர்ந்த சுழற்சி நேர இடையூறுகளைத் தடுக்க உங்கள் தினசரி செயல்திறன் இலக்குகளை நீங்கள் கடுமையாக ஆய்வு செய்ய வேண்டும்.
சேம்பர் மெட்டீரியல் மற்றும் டிசைன்: உற்பத்தியாளர்கள் பொதுவாக அலுமினியம் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு ஒன்றைப் பயன்படுத்தி வெற்றிட அறைகளை உருவாக்குகிறார்கள். அலுமினியம் சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மையை வழங்குகிறது மற்றும் இயற்கையாகவே சில அரிக்கும் ஆலசன் வாயுக்களை எதிர்க்கிறது. துருப்பிடிக்காத எஃகு ஒப்பிடமுடியாத நீண்ட கால ஆயுள் மற்றும் அதி-உயர் துகள் தூய்மையை வழங்குகிறது. உள் அலமாரி அமைப்புகளையும் நீங்கள் கவனமாக ஆய்வு செய்ய வேண்டும். திறமையான அலமாரி வடிவமைப்புகள் முக்கியமான பிளாஸ்மா சீரான தன்மையை இழக்காமல் பத்திரிகை திறனை அதிகரிக்கின்றன.
பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பத்தை ஒருங்கிணைப்பது தவிர்க்க முடியாமல் குறிப்பிட்ட உற்பத்தி மற்றும் செயல்பாட்டு சவால்களை அறிமுகப்படுத்துகிறது. நீங்கள் இயந்திரத்தை நிறுவி செயல்முறை இயற்பியலை புறக்கணிக்க முடியாது. தொடர்ந்து அதிக மகசூலைத் தக்கவைக்க இந்த தொழில்நுட்ப அபாயங்களை நீங்கள் முன்கூட்டியே நிர்வகிக்க வேண்டும்.
ஒரு முழு சுழற்சியை முடிக்க வெற்றிட அமைப்புகள் இயல்பாகவே கணிசமான நேரத்தை எடுக்கும். இயந்திர வெற்றிட பம்ப்-டவுன் நேரத்தை நீங்கள் உன்னிப்பாகக் கணக்கிட வேண்டும். செயலாக்கம் முடிந்ததும் மெதுவாக காற்றோட்டம் தொடர்வதையும் நீங்கள் பெரிதும் கணக்கிட வேண்டும். இந்த தேவையான இயந்திர படிநிலைகள் வளிமண்டல முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது மொத்த சுழற்சி நேரத்தை கணிசமாக நீட்டிக்கின்றன. இந்த நேரங்களை நீங்கள் துல்லியமாகக் கணக்கிட்டு அவற்றை உருவகப்படுத்த வேண்டும். அவ்வாறு செய்யத் தவறினால், உங்கள் கீழ்நிலை பிணைப்பு உபகரணங்களை கடுமையாக பட்டினி கிடக்கும்.
வெளிப்புற வெற்றிட பம்ப் முழு அமைப்பின் இதய துடிப்பாக செயல்படுகிறது. இது அதிக வினைத்திறன் கொண்ட செயல்முறை வாயுக்களின் நிலையான, தினசரி வெளிப்பாட்டை எதிர்கொள்கிறது. ஈயச் சட்டங்களில் இருந்து உடல் ரீதியாக நீக்கப்பட்ட துகள் துணைப் பொருட்களையும் இது வழக்கமாக உட்கொள்கிறது. பேரழிவுகரமான இயந்திர செயலிழப்புகளைத் தடுக்க, வழக்கமான பராமரிப்பை நீங்கள் திட்டமிட வேண்டும் மற்றும் செயல்படுத்த வேண்டும். பம்ப் ஆயிலை அடிக்கடி மாற்றுவது அல்லது உலர் பம்ப் சீல்களை சர்வீஸ் செய்வது இந்த கண்டிப்பான வழக்கத்தில் அடங்கும். பம்ப் பராமரிப்பை புறக்கணிப்பது நேரடியாக சீரற்ற அறை அழுத்த நிலைகளுக்கு வழிவகுக்கிறது மற்றும் இறுதியில் மோசமான துப்புரவு முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது.
அதிக பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு நிச்சயமாக உங்கள் தயாரிப்புக்கு சிறந்ததாக இருக்காது. அதிகப்படியான செயலாக்க நேரங்கள் உங்கள் உணர்திறன் வாய்ந்த தயாரிப்பை மீளமுடியாமல் சேதப்படுத்தும். அதிக சக்தி அளவுகள் உலோக கட்டமைப்பில் கடுமையான மேற்பரப்பு கடினப்படுத்துதலை ஏற்படுத்துகின்றன. இந்த நுண்ணிய முரட்டுத்தனமானது துல்லியமான கம்பி பிணைப்பு நுண்குழாய்களில் நேரடியாக தலையிடக்கூடும். சுத்தம் செய்யப்பட்ட அடி மூலக்கூறில் சிதறிய பொருட்களின் ஆபத்தான மறுபகிர்வு அபாயத்தையும் நீங்கள் எதிர்கொள்கிறீர்கள். கூடுதலாக, அதிகப்படியான செயலாக்கம், தற்போதுள்ள டை-அட்டாச் எபோக்சிகளுக்கு வெப்பச் சிதைவை ஏற்படுத்தும். கண்டிப்பான, சரிபார்க்கப்பட்ட செயல்முறை சாளரங்களை நிறுவி பூட்ட வேண்டும்.
நீங்கள் ஒரு பொதுவான இயந்திரத்தை வெறுமனே செருக முடியாது மற்றும் நம்பகமான பாகங்களை உற்பத்தி செய்ய ஆரம்பிக்க முடியாது. சாத்தியமான விற்பனையாளர்களிடமிருந்து கருத்தியல் சான்றை (PoC) நீங்கள் முறையாகக் கோர வேண்டும். யதார்த்தமான சோதனைக்காக உங்கள் சரியான லீட் ஃப்ரேம் பட்டைகளை அவர்களுக்கு நேரடியாக வழங்கவும். நீங்கள் அளவு அளவீடுகளைப் பயன்படுத்தி சுத்தம் செய்யும் முடிவுகளை கவனமாகச் சரிபார்க்க வேண்டும். மேம்படுத்தப்பட்ட ஈரத்தன்மையை உறுதியாக நிரூபிக்க, தொடர்பு கோண சோதனையை பெரிதும் நம்புங்கள். மேம்பட்ட இயந்திர ஒட்டுதலுக்கு முற்றிலும் உத்தரவாதம் அளிக்க கடுமையான கம்பி பிணைப்பு வெட்டு சோதனைகளைச் செய்யவும். கண்டிப்பான சரிபார்ப்பு தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட உபகரணங்கள் உண்மையில் உங்கள் குறிப்பிட்ட உற்பத்தி தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது.
வெற்றிட பிளாஸ்மா அமைப்புகள் நவீன குறைக்கடத்தி செயல்பாடுகளுக்கு முக்கியமான மகசூல்-பாதுகாப்பு முதலீடாகச் செயல்படுகின்றன. அவை ஒரு அடிப்படை, விருப்பமான துப்புரவு படியை விட மிக அதிகம். நம்பகமான பிணைப்புக்கு உத்தரவாதம் அளிக்க அவை அணு மட்டத்தில் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை தீவிரமாக வடிவமைக்கின்றன. இந்த அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், நீங்கள் கண்ணுக்குத் தெரியாத கரிம அசுத்தங்களை அகற்றி, சிக்கலான உலோக ஆக்சைடுகளைக் குறைக்கிறீர்கள். நீங்கள் மேற்பரப்பின் ஈரப்பதத்தை வியத்தகு முறையில் அதிகரிக்கிறீர்கள், இது கீழ்நிலை உறைவு ஓட்டத்திற்கு அவசியம்.
முறையான விற்பனையாளர் மதிப்பீடுகளைத் தொடங்குவதற்கு முன், உங்கள் தற்போதைய குறைபாடு விகிதங்களின் அடிப்படையை நீங்கள் நிறுவ வேண்டும். உங்களின் தற்போதைய டிலாமினேஷன் சிக்கல்களைக் கவனமாகக் கணக்கிடுங்கள் மற்றும் உங்கள் தினசரி வயர் பாண்ட் லிஃப்ட்களைக் கண்காணிக்கவும். எதிர்கால மேம்பாடுகளைக் கண்காணிப்பதற்கான தெளிவான, மறுக்க முடியாத அளவுகோலை இந்த வரலாற்றுத் தரவு உங்களுக்கு வழங்குகிறது.
அடுத்து, உங்கள் குறிப்பிட்ட உற்பத்தித் தேவைகளின் விரிவான மேட்ரிக்ஸைத் தொகுக்கவும். உங்களின் தற்போதைய லீட் பிரேம் பொருட்கள், குறிப்பிட்ட எரிவாயு கட்டுப்பாடுகள் மற்றும் இலக்கு தினசரி செயல்திறன் ஆகியவற்றை ஆவணப்படுத்தவும். பெரிதாக்கப்பட்ட உபகரணங்களை வாங்குவதைத் தவிர்க்க உங்கள் தொழிற்சாலை தடம் தடைகளை தெளிவாகக் கவனியுங்கள். புகழ்பெற்ற உபகரண உற்பத்தியாளர்களிடமிருந்து இலக்கு மாதிரி சோதனையைக் கோர இந்தத் துல்லியமான, விரிவான தரவைப் பயன்படுத்தவும். இந்த வேண்டுமென்றே நடவடிக்கைகளை எடுப்பது ஒரு மென்மையான, மிகவும் வெற்றிகரமான உபகரண ஒருங்கிணைப்பை உறுதி செய்கிறது.
ப: ஒரு வழக்கமான சுழற்சி பொதுவாக 5 முதல் 15 நிமிடங்கள் எடுக்கும். ஆரம்ப பம்ப்-டவுன் நேரம், செயலில் உள்ள பிளாஸ்மா கட்டம் மற்றும் இறுதி காற்றோட்டம் வரிசை ஆகியவற்றில் இந்த கால அளவு காரணிகள். சரியான நேரம் உங்கள் தேவையான சிகிச்சை செயல்திறனைப் பொறுத்தது.
ப: ஆம், முடியும். தூய ஆக்ஸிஜன் போன்ற தவறான செயல்முறை வாயுக்களைப் பயன்படுத்துவது வெள்ளி முலாம் விரைவாக ஆக்ஸிஜனேற்றப்படும். கூடுதலாக, அதிகப்படியான RF சக்தி மென்மையான மேற்பரப்பை சேதப்படுத்தும் கடுமையான உடல் சிதறலை ஏற்படுத்துகிறது. இந்த உணர்திறன் பொருட்களைப் பாதுகாக்க கடுமையான செய்முறை தேர்வுமுறை மற்றும் சரியான எரிவாயு தேர்வு ஆகியவை கட்டாயமாகும்.
ப: நீங்கள் பல நிலையான அளவு முறைகளைப் பயன்படுத்தலாம். நீர் தொடர்பு கோண கோனியோமெட்ரி மேற்பரப்பு ஆற்றலை நேரடியாக அளவிடுகிறது. டைன் சோதனை திரவங்கள் ஈரப்பதத்தின் விரைவான காட்சி மதிப்பீட்டை வழங்குகின்றன. இறுதியாக, செயல்முறைக்கு பிந்தைய கம்பி இழுத்தல் மற்றும் வெட்டு வலிமை சோதனை விளைவாக பிணைப்புகளின் உண்மையான இயந்திர ஒருமைப்பாட்டை உறுதிப்படுத்துகிறது.
