1. Cad é plasma?
Is substaint ghásach ianaithe é plasma, an ceathrú staid ábhair, atá comhdhéanta d’adaimh a bhfuil roinnt leictreon bainte as agus iain dhearfacha agus diúltacha a ghintear tar éis ianú na n-adamh. Is éard atá sa ghás ianaithe seo adaimh, móilíní, grúpaí adamhacha, iain agus leictreoin. Is féidir é a chur i bhfeidhm ar dhromchla rudaí glantacháin ultra-ghlan, gníomhachtú dromchla, eitseáil, agus sciath dromchla plasma rudaí a bhaint amach.
2. Conas plasma a fháil go saorga？
Is féidir plasma a ghiniúint trí mhodhanna saorga mar chomhleá núicléach, eamhnú núicléach, urscaoileadh glow, agus cineálacha éagsúla sceite. Is féidir cineálacha éagsúla plasma a tháirgeadh freisin trí mhodhanna urscaoilte saorga, go príomha lena n-áirítear: glow (lampaí fluaraiseacha), stua (stua leictreach), agus urscaoileadh corónach (a fheictear go minic timpeall línte ardvoltais). Le haghaidh glanadh dromchla beachtas, gníomhachtú agus modhnú dromchla, chomh maith le próiseáil dromchla ábhar bithinnealtóireacht, plaistigh agus páipéar, úsáidtear plasma íseal-teocht a ghintear trí urscaoileadh glow, urscaoileadh corónach, agus urscaoileadh bacainn tréleictreach den chuid is mó.
I réimse leictreach ard-minicíochta, is féidir le móilíní gáis amhail ocsaigine, nítrigin, meatán, agus gal uisce faoi bhrú íseal dianscaoileadh isteach i adaimh agus i móilíní luathaithe le linn urscaoileadh glow. Imbhuaileann na leictreoin a ghintear ar an mbealach seo agus na hadaimh agus na móilíní atá dícheangailte i luchtanna dearfacha agus diúltacha leis na móilíní nó leis na hadaimh máguaird, rud a fhágann go n-éalaíonn leictreoin sna móilíní agus sna hadaimh, atá i riocht corraithe nó ianach iad féin. Ag an bpointe seo, tá staid an ábhair i stát plasma.
3. Cad iad na cineálacha plasma atá ann?
1) plasma ardteochta agus plasma íseal-teocht. Tagraíonn plasma ardteochta do phlasma atá go hiomlán ianaithe nó go háitiúil atá cothromaithe go teirmeach áit a bhfuil an teocht leictreon díreach comhionann leis na teochtaí ian agus gáis. Tá teocht na gcáithníní uile beagnach comhionann. Tá an teocht thar a bheith ard, go hiondúil sroicheann sí 10 6−10 8 K (thart ar 100-100 milliún céim Celsius). Tá plasma íseal-teocht i stát cothromaíochta neamh-teirmeach, áit a bhfuil an teocht leictreon i bhfad níos airde ná teocht na n-ian agus na gcáithníní neodracha. Mar gheall ar an déine iomarcach ar éifeacht plasma ardteochta ar dhromchla rudaí, is annamh a úsáidtear é in iarratais phraiticiúla, agus faoi láthair ní úsáidtear ach plasma íseal-teocht.
2) Plasma de gháis imoibríocha agus neamh-imoibríocha. Tá an t-aicmiú seo bunaithe ar airíonna ceimiceacha na ngás a úsáidtear chun plasma a ghiniúint. Áirítear ar gháis neamh-imoibríocha argón (Ar), nítrigin (N2), fluairíd nítrigine (NF3), teitreafluairíd charbóin (CF4), etc., agus cuimsíonn gáis imoibríocha ocsaigin (O2), hidrigin (H2), srl.
4. Cad iad an idirghníomhaíocht idir plasma agus dromchla réad?
Tá an t-imoibriú ceimiceach idir plasma agus dromchla píosa oibre an-difriúil ó imoibrithe ceimiceacha traidisiúnta. De bharr bombardú leictreoin ardluais, is féidir le go leor gáis nó gal atá cobhsaí ag teocht an tseomra imoibriú le dromchla an phíosa oibre i bhfoirm plasma, rud a chruthaíonn go leor éifeachtaí uathúla agus úsáideacha:
1) Glanadh agus eitseáil: Mar shampla, le linn glantacháin, is minic a úsáidtear ocsaigin mar an gás oibre. Nuair a bhuaileann leictreoin luathaithe é, déantar iain ocsaigine agus fréamhacha saor in aisce é, a léiríonn airíonna ocsaídeacha láidre. Déantar ábhar salaithe ar dhromchla an phíosa oibre, mar shampla ramhar, flux, photoresist, gníomhaire scaoilte, agus ola punchála, a ocsaídiú go tapa i dé-ocsaíd charbóin agus uisce, a phumpáiltear ansin le caidéal folúis, ag baint amach an sprioc de ghlanadh an dromchla agus feabhas a chur ar fhliuchtacht agus greamaitheacht. Ní bhaineann cóireáil plasma íseal-teocht ach le dromchla éadomhain (<10nm) an ábhair agus ní dhéanann sé difear d'airíonna an ábhair mórchóir. Toisc go ndéantar glanadh plasma faoi fholús ard, tá meánchosán fada saor in aisce ag na hiain ghníomhacha éagsúla sa plasma, agus tá a gcumas treá agus tréscaoilteachta láidir, rud a chuireann ar chumas struchtúir chasta a chóireáil, lena n-áirítear feadáin fíneáil agus poill dall.
2) Tabhairt isteach na ngrúpaí feidhme: Is féidir le cóireáil plasma ábhair pholaiméire le gáis mar N2, NH3, O2, agus SO2 comhdhéanamh ceimiceach an dromchla a athrú agus grúpaí feidhmiúla nua comhfhreagracha a thabhairt isteach: -NH2, -OH, -COOH, -SO3H, etc. bondability, imoibríocht, agus méadú mór ar a luach úsáide. I gcodarsnacht le plasma ocsaigine, is féidir le cóireáil plasma íseal-teocht le gáis ina bhfuil fluairín adaimh fluairín a thabhairt isteach ar dhromchla an tsubstráit, rud a chuireann hidreafóbacht ar an tsubstráit.
3) Polymerization: Is féidir le go leor monaiméirí vinile, mar shampla eitiléine agus styrene, dul faoi pholaiméiriú ar dhromchla na bpíosaí oibre faoi choinníollacha plasma gan gá le haon chatalaíoch nó tionscnóirí eile. Is féidir fiú substaintí nach féidir a pholaiméiriú faoi ghnáthchoinníollacha, amhail meatán, eatán, agus beinséin, a pholaiméiriú tras-nasctha a dhéanamh ar dhromchla na bpíosaí oibre faoi choinníollacha plasma. Is féidir leis an gciseal polaiméirithe seo a bheith an-dlúth agus nasctha go láidir leis an tsubstráit. I dtíortha iasachta, tá buidéil beorach plaisteacha agus umair breosla gluaisteán brataithe le ciseal dlúth den sórt sin trí pholaiméiriú plasma chun micrea-sceitheadh a chosc. Is féidir dromchla na n-ábhar polaiméire bithleighis a bheith brataithe leis an gciseal dlúth seo freisin chun idirleathadh substaintí tocsaineacha mar phlaistigh a chosc ó phlaisteach go fíocháin daonna. Is minic is féidir comhpháirteanna optúla a bheith brataithe le scannán optúil cuí ar a ndromchla trí bhearta polaiméirithe plasma, chun feidhmíocht na gcomhpháirteanna optúla a fheabhsú.
4) Greamadh plasma-spreagtha:
Is éard atá i gceist leis an bpróiseas ná fréamhacha saor in aisce gníomhacha a ghiniúint ar dhromchla ábhar polaiméire trí réamhchóireáil plasma, rud a spreagann polaiméiriú monaiméirí vinile ar dhromchla an ábhair. Is féidir le plasma imoibrithe grafála a spreagadh freisin ar dhromchlaí neamhrialta áirithe, mar bhallaí istigh na mbuidéal. Trí mhonaiméirí grafting cuí a roghnú agus na coinníollacha imoibrithe grafála cuí a rialú, is féidir an hidreafhileacht nó an t-éaradh uisce, greamaitheacht, friotaíocht creimeadh, friotaíocht caitheamh, seoltacht, roghnaíocht tréscaoilteachta, agus bith-chomhoiriúnacht an ábhair a athrú. Dá bhrí sin, tá grafáil plasma an-nuálach agus tá ionchais iarratais iontacha ann.
