Zloženie zafíru je oxid hlinitý (Al 2O 3) a jeho kryštálová štruktúra je hexaedrická mriežková štruktúra. C-plane je najčastejšie používaný zafírový substrát. Vďaka svojmu širokému optickému penetračnému pásmu má dobrú priepustnosť svetla od blízkeho ultrafialového po stredné infračervené, takže je široko používaný v optických komponentoch, infračervených zariadeniach, materiáloch vysokointenzívnych laserových šošoviek a materiáloch na masky.
V súčasnosti kvalita ultravysokej svietivosti bielej a modrej LED závisí od kvality materiálu GaN a kvalita GaN úzko súvisí s kvalitou povrchového spracovania použitého zafírového substrátu.
Nedávno sa trh posunul z 2-palcového zafírového monokryštálu na 4-palcové, 6-palcové a 8-palcové. Rýchly rozvoj trhu LED vyžaduje rast zafírových kryštálov veľkých rozmerov, vysokej kvality a stabilného výkonu, čo kladie vyššie požiadavky na technológiu rastu zafírov. V procese rastu zafírového monokryštálu sa však často vyskytujú niektoré defekty, ktoré výrazne ovplyvňujú výkon zafíru, ako sú praskliny kryštálov, dislokácie, nečistoty a farebné centrá, vzduchové bubliny atď.
Nižšie sa zameriame na dva typy defektov zafírového kryštálu.
![]()
Počas procesu rastu spôsobí vznik rôznych napätí vo vnútri kryštálu napätie. Keď je napätie väčšie ako medza pružnosti samotného kryštálu, kryštál praskne. Napätie v kryštáli zahŕňa najmä tieto tri typy:
(1) Tepelné napätie: Tepelné napätie je druh vnútorného napätia spôsobeného nerovnomerným zahrievaním kryštálu a teplotným rozdielom, čo vedie k nekonzistentnej expanzii alebo kontrakčnej deformácii kryštálu a vzájomnému obmedzeniu medzi rôznymi časťami kryštálu. Takže pokiaľ je v kryštáli teplotný gradient, dochádza k tepelnému namáhaniu.
(2) Chemické napätie: spôsobené nerovnomerným rozložením rôznych zložiek v kryštáli.
(3) Mechanické napätie: spôsobené mechanickými vibráciami počas rastu kryštálov.
Počas rastu zafírového monokryštálu je tepelný stres najdôležitejšou formou všetkého stresu. Medzi hlavné dôvody nadmerného tepelného namáhania kryštálu patria nasledujúce aspekty:
a. Tempo rastu je príliš rýchle.
b. Teplotné pole je neprimerané a teplotný gradient je príliš veľký.
c. Rýchlosť chladenia je príliš vysoká.
d. Orientácia kryštálov.
e. Veľkosť kryštálu.
![]()
mierny stres
![]()
stredný stres
Dislokácia je mriežkový defekt so špeciálnou štruktúrou. Samotný kryštál je počas kryštalizácie vystavený pôsobeniu vonkajšieho prostredia alebo rôznym vnútorným napätiam a usporiadanie častíc vo vnútri kryštálu sa deformuje a už nie je usporiadané do ideálneho mriežkového stavu, čo vedie k lineárnemu defektu kryštálu nazývanému dislokácia.
Príčiny dislokácií v zafírových kryštáloch zahŕňajú najmä tieto tri aspekty:
a. Primárne dislokácie: Ak sú vo vybranom zárodočnom kryštáli dislokácie, môžu sa rastom rozšíriť na nové kryštály. Dislokácie v zárodočnom kryštáli zahŕňajú dislokácie vlastné zárodočnému kryštálu, dislokácie generované nadmerným namáhaním počas spracovania a dislokácie spôsobené tepelným šokom počas očkovania.
b. Dislokácie vznikajú počas rastu kryštálov. Jeho hlavné zdroje sú:
(1) Axiálne a radiálne teplotné gradienty kryštálu v blízkosti rozhrania vytvárajú tepelné napätie, ktoré oba prekračuje kritickú hodnotu.
(2) Zmeny mriežkových konštánt spôsobené segregáciou komponentov: v dôsledku prítomnosti atómov nečistôt v tavenine budú kryštály počas procesu tuhnutia postupne tuhnúť, čo má za následok rozdiely v zložení a možnú tvorbu dislokácií.
(3) Bodové defekty (vakancie a intersticiály) spôsobujú lokálnu koncentráciu napätia.
(4) Vplyv mechanických vibrácií spôsobuje, že kryštál sa vychyľuje alebo ohýba a medzi susednými kryštálovými blokmi dochádza k fázovému rozdielu, čím sa vytvárajú dislokácie.
![]()
![]()
Koncentrácia napätia je náchylná na výskyt v blízkosti rozhraní, ako sú dvojčatá a hranice zŕn vo vnútri kryštálu a blízko mikrotrhlín. Ak napätie presiahne sklzové napätie, pri skĺznutí kryštálu v tejto oblasti dôjde k dislokáciám v tejto oblasti.