|
| ปริมาณ: | |
|---|---|
◇◇ คุณสมบัติ ◇◇
การผลิตต่อเนื่องแบบออนไลน์ช่วยให้สามารถเชื่อมต่อกับกระบวนการก่อนหน้าและต่อๆ ไปได้อย่างราบรื่น ลดการจัดการด้วยตนเอง ลดต้นทุน และอัตราข้อผิดพลาด
สภาวะสุญญากาศสามารถควบคุมได้ในระดับสูง และพารามิเตอร์กระบวนการ (ความดันอากาศ องค์ประกอบของก๊าซ กำลัง ฯลฯ) ก็ควบคุมและทำซ้ำได้อย่างแม่นยำอย่างง่ายดาย ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรระหว่างแบทช์
ความสม่ำเสมอในการบำบัดสูง: โครงสร้างอิเล็กโทรดและห้องเพาะเลี้ยงที่ออกแบบมาอย่างดี ผสมผสานกับการควบคุมสนามการไหลของก๊าซ ช่วยให้สามารถบำบัดชิ้นงานที่มีพื้นที่ขนาดใหญ่และรูปทรงที่ซับซ้อนได้สม่ำเสมอ
ความน่าเชื่อถือสูง: ด้วยการออกแบบระดับอุตสาหกรรม ผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงถูกเลือกสำหรับส่วนประกอบหลัก (เช่น ปั๊มสุญญากาศ เครื่องกำเนิดความถี่วิทยุ/ไมโครเวฟ และอุปกรณ์ที่เข้าคู่กัน) เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรและความน่าเชื่อถือของการทำงานต่อเนื่องในระยะยาว
ความสามารถในการปรับให้เข้ากับชิ้นงานที่ซับซ้อน: ด้วยอุปกรณ์จับยึดเครื่องมือและระบบลำเลียงที่ออกแบบมาอย่างเหมาะสม ทำให้สามารถจัดการกับชิ้นงานที่มีรูปร่างแบน โค้ง 3 มิติ และมีรูปร่างไม่สม่ำเสมอได้
การทำความสะอาดพลาสม่าเป็นทางเลือกแบบแห้งที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม มีประสิทธิภาพ และควบคุมได้ แทนวิธีการทำความสะอาดแบบใช้ตัวทำละลายแบบดั้งเดิม
◇◇ ทางเทคนิค ข้อมูลจำเพาะ ◇◇
ขนาดสินค้า |
ความยาว: 150-270 มม. ความกว้าง: 35-95 มม |
ขนาดห้องปฏิกิริยา |
320(ก) × 610(ล) × 50(ส) มม |
ประสิทธิภาพ |
4 ช่อง มี 4 ชิ้น ประมาณ. 500 ชิ้น/ชั่วโมง |
เครื่องกำเนิดพลาสม่า |
ความถี่ 13.56MHz ปรับกำลังได้ 0 - 600W พร้อมการจับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติ |
ระบบทางเดินแก๊ส |
การกำหนดค่ามาตรฐานประกอบด้วย 2 ช่อง (O₂/Ar/H₂) ควบคุมโดยเครื่องวัดอัตราการไหลของมวล อัตราการไหลของก๊าซที่ปรับได้ 0- 200 มล./นาที |
ระบบควบคุม |
หน้าจอสัมผัส + PLC ควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
ขนาดอุปกรณ์ |
2140 (ก) × 1340 (ล) × 1760 (ส) มม |
◇◇ พื้นที่ใช้งาน ◇◇
