อุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสม่าความถี่วิทยุสุญญากาศ

◇◇ ภาพรวม  ◇◇

 โดยให้การปรับสภาพพื้นผิวที่เชื่อถือได้สำหรับกระบวนการที่สำคัญ เช่น การพิมพ์ การเคลือบ การเคลือบ และการห่อหุ้ม ขณะเดียวกันก็แก้ไขปัญหาทั่วไป เช่น การยึดเกาะไม่ดี การเคลือบไม่สม่ำเสมอ และการยึดเกาะที่อ่อนแอ นอกจากนี้ การทำความสะอาดพลาสมายังเป็นทางเลือกแบบแห้งที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม มีประสิทธิภาพ และควบคุมได้ แทนวิธีการทำความสะอาดแบบใช้ตัวทำละลายแบบดั้งเดิม

  ◇◇  องค์ประกอบ  ◇◇

ส่วนใหญ่ประกอบด้วยห้องสุญญากาศ แผ่นอิเล็กโทรด แหล่งจ่ายไฟความถี่วิทยุ (RF) เครื่องจับคู่ และปั๊มสุญญากาศ

◇◇  คุณสมบัติ  ◇◇

• อุณหภูมิต่ำและการประมวลผลที่รวดเร็ว: ทำงานใกล้กับอุณหภูมิห้อง (<50°C) โดยมีรอบเวลาสั้น ป้องกันความเสียหายต่อวัสดุที่ไวต่อความร้อน

• การทำความสะอาดที่เหนือกว่า: ขจัดสิ่งปนเปื้อนที่ระดับ ≤0.1 นาโนเมตร ซึ่งเกินขีดจำกัดของวิธีการทำความสะอาดแบบเปียกแบบดั้งเดิม

• กระบวนการที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมและแห้ง: กำจัดตัวทำละลายเคมีและน้ำเสีย ใช้ก๊าซเฉื่อย/ปฏิกิริยาโดยไม่ก่อให้เกิดผลพลอยได้ที่เป็นพิษ

• อัจฉริยะและติดตามได้: มีการควบคุมกระบวนการอันชาญฉลาดพร้อมความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับข้อมูลการผลิตเต็มรูปแบบ

  
  

           ◇◇ ประสิทธิภาพของกระบวนการ  ◇◇

                             

                                     ก่อนการรักษา มุมสัมผัส = 85.6° หลังการรักษา มุมสัมผัส = 14.3°

◇◇  ทางเทคนิค ข้อมูลจำเพาะ  ◇◇

ความจุห้อง	110L
ขนาดห้อง	525(ก)×445(ล)×495(ส)มม
ช่วงพลังงาน	ปรับต่อเนื่องได้ตั้งแต่ 0-600W ความแม่นยำ ±1%
ความถี่วิทยุ	13.56MHz ± 0.05%
ความเร็วในการประมวลผล	3~10 นาที (ขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพการประมวลผล)
ประสิทธิภาพหลังการประมวลผล	มุมสัมผัสน้ำ <15°
วิธีการจับคู่	เครือข่ายการจับคู่อิมพีแดนซ์อัตโนมัติ
ประเภทอิเล็กโทรด	ข้อต่อคาปาซิทีฟแบบแผ่นขนาน
วัสดุอิเล็กโทรด	อลูมิเนียมอโนไดซ์
การกำหนดค่าแผ่นอิเล็กโทรด	แนวนอน 4 อิเล็กโทรด (สามารถปรับจำนวนชั้นอิเล็กโทรดแนวนอนหรือความสูงได้) มีการโหลดคาสเซ็ตต์
วิธีการยึดอิเล็กโทรด	ปลั๊กอินที่ถอดออกได้
ปั๊มสุญญากาศ	ปั๊มเชิงกลใบพัดหมุน
ความเร็วในการสูบน้ำ	60ม⊃3;/ชม
ระดับสุญญากาศขั้นสูงสุด	≤5ปาสคาล
ช่วงสูญญากาศในการทำงาน	10-100Pa
หมายเลขช่องของกระบวนการแก๊ส	มาตรฐาน 2 ช่อง สามารถเลือกช่องได้หลายช่อง
ประเภทแก๊ส	อาร์, O₂, N₂, H₂ ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน CF₄ เป็นตัวเลือก
วิธีการควบคุมแก๊ส	เครื่องควบคุมการไหลของมวล (MFC)
ช่วงการวัด MFC และความแม่นยำ	0-300 sccm ความแม่นยำ ±2% FS
ขนาดถาดบรรจุ	400 มม.(ย)*473 มม.(ก)
ขนาดอุปกรณ์	900(W)×1100(D)×1750 (H)มม. (ไม่รวมความสูงของไฟสามสี)
น้ำหนักอุปกรณ์	ประมาณ 450KG

◇◇  พื้นที่ ใช้งาน  ◇◇