Вакуумное оборудование для радиочастотной плазменной очистки

◇◇ Обзор  ◇◇

 Он обеспечивает надежную предварительную обработку поверхности для важных процессов, включая печать, нанесение покрытия, ламинирование и инкапсуляцию, а также решает общие проблемы, такие как плохая адгезия, неравномерное покрытие и слабое склеивание. Кроме того, плазменная очистка представляет собой экологически чистую, эффективную и контролируемую сухую альтернативу традиционным методам очистки на основе растворителей.

  ◇◇  Состав  ◇◇

В основном состоит из вакуумной камеры, электродных пластин, радиочастотного (РЧ) источника питания, согласующего устройства и вакуумного насоса.

◇◇  Особенности  ◇◇

• Низкотемпературная и быстрая обработка: работает при комнатной температуре (<50°C) с коротким временем цикла, предотвращая повреждение термочувствительных материалов.

• Превосходная очистка: удаляет загрязнения на уровне ≤0,1 нм, превосходя пределы традиционных методов влажной очистки.

• Экологически чистый и сухой процесс: исключает использование химических растворителей и сточных вод; использует инертные/реактивные газы без образования токсичных побочных продуктов.

• Интеллектуальность и отслеживаемость: обеспечивает интеллектуальное управление процессом с полной отслеживаемостью производственных данных.

  
  

           ◇◇ Производительность процесса  ◇◇

                             

                                     до лечения угол контакта = 85,6° после лечения угол контакта = 14,3°

◇◇  Технические характеристики  ◇◇

Вместимость камеры	110L
Размер камеры	525(Ш)×445(Д)×495(В) мм
Диапазон мощности	Плавная регулировка от 0 до 600 Вт, точность ± 1%
Радиочастота	13,56 МГц ± 0,05%
Скорость обработки	3~10 минут (в зависимости от производительности обработки)
Производительность постобработки	Угол контакта с водой< 15°
Метод сопоставления	Сеть автоматического согласования импеданса
Тип электрода	Емкостная связь с параллельными пластинами
Материал электрода	Анодированный алюминий
Конфигурация электродной пластины	Горизонтальный, 4 электрода (количество горизонтальных слоев электродов или высоту можно регулировать) Возможна загрузка кассеты
Способ крепления электрода	Съемный плагин
Вакуумный насос	Пластинчато-роторный механический насос
Скорость откачки	60м⊃3;/ч
Конечная степень вакуума	≤5Па
Диапазон рабочего вакуума	10-100Па
Номер канала технологического газа	Стандартные 2 канала. Несколько каналов не являются обязательными
Типы газа	Ar, O₂, N2, H2. Коррозионный газ CF₄ не является обязательным.
Метод газового контроля	Регулятор массового расхода (MFC)
Диапазон и точность измерения MFC	0–300 см/см, точность ±2% полной шкалы
Размер загрузочного лотка	400 мм (Д) * 473 мм (Ш)
Размер оборудования	900(Ш)×1100(Г)×1750 (В)мм (без учета высоты трехцветного освещения)
Вес оборудования	Около 450 кг

◇◇  применения Область  ◇◇