Sprzęt do czyszczenia plazmowego próżniowego o częstotliwości radiowej

◇◇ Przegląd  ◇◇

 Zapewnia niezawodną obróbkę wstępną powierzchni w kluczowych procesach, w tym drukowaniu, powlekaniu, laminowaniu i kapsułkowaniu, rozwiązując jednocześnie typowe problemy, takie jak słaba przyczepność, nierówna powłoka i słabe wiązanie. Co więcej, czyszczenie plazmowe stanowi przyjazną dla środowiska, wydajną i kontrolowaną alternatywę na sucho dla tradycyjnych metod czyszczenia na bazie rozpuszczalników.

  ◇◇  Skład  ◇◇

Składa się głównie z komory próżniowej, płytek elektrodowych, zasilacza o częstotliwości radiowej (RF), urządzenia dopasowującego i pompy próżniowej.

◇◇  Funkcje  ◇◇

• Niska temperatura i szybkie przetwarzanie: Działa w pobliżu temperatury pokojowej (<50°C) z krótkimi czasami cykli, zapobiegając uszkodzeniu materiałów wrażliwych na ciepło.

• Doskonałe czyszczenie: Usuwa zanieczyszczenia na poziomie ≤0,1 nm, przekraczając granice tradycyjnych metod czyszczenia na mokro.

• Ekologiczny i suchy proces: eliminuje rozpuszczalniki chemiczne i ścieki; wykorzystuje obojętne/reaktywne gazy bez wytwarzania toksycznych produktów ubocznych.

• Inteligentny i identyfikowalny: zapewnia inteligentną kontrolę procesu z pełną identyfikowalnością danych produkcyjnych.

  
  

           ◇◇ Wydajność procesu  ◇◇

                             

                                     przed zabiegiem, kąt zwilżania = 85,6°, po zabiegu, kąt zwilżania = 14,3°

◇◇  techniczne Dane  ◇◇

Pojemność komory	110L
Rozmiar komory	525 (szer.) × 445 (gł.) × 495 (wys.) mm
Zakres mocy	Płynna regulacja w zakresie 0-600 W, dokładność ± 1%
Częstotliwość radiowa	13,56 MHz ± 0,05%
Szybkość przetwarzania	3~10 minut (w zależności od wydajności przetwarzania)
Wydajność przetwarzania końcowego	Kąt zwilżania wody < 15°
Metoda dopasowywania	Automatyczna sieć dopasowująca impedancję
Typ elektrody	Sprzężenie pojemnościowe z płytką równoległą
Materiał elektrody	Anodowane aluminium
Konfiguracja płytki elektrodowej	Pozioma, 4 elektrody (możliwość regulacji ilości poziomych warstw elektrod lub wysokości) Możliwość ładowania kasety
Sposób mocowania elektrod	Możliwość odłączenia wtyczki
Pompa próżniowa	Obrotowa pompa mechaniczna łopatkowa
Prędkość pompowania	60m³/godz
Najwyższy stopień próżni	≤5 Pa
Zakres podciśnienia roboczego	10-100Pa
Numer kanału gazu procesowego	Standardowe 2 kanały. Wiele kanałów jest opcjonalnych
Rodzaje gazu	Ar, O₂, N₂, H₂. Gaz korozyjny CF₄ jest opcjonalny
Metoda kontroli gazu	Kontroler przepływu masowego (MFC)
Zakres i dokładność pomiaru MFC	0-300 sccm, dokładność ±2% FS
Rozmiar podajnika ładującego	400 mm (dł.) * 473 mm (szer.)
Rozmiar sprzętu	900 (szer.) × 1100 (gł.) × 1750 (wys.) mm (bez wysokości światła trójkolorowego)
Waga sprzętu	Około 450 kg

◇◇  zastosowań Obszar  ◇◇