معدات تنظيف البلازما بترددات الراديو الفراغية

◇◇ نظرة عامة  ◇◇

 إنه يوفر معالجة مسبقة موثوقة للسطح للعمليات الحرجة بما في ذلك الطباعة والطلاء والتصفيح والتغليف، مع معالجة المشكلات الشائعة مثل ضعف الالتصاق والطلاء غير المتساوي والترابط الضعيف. علاوة على ذلك، يوفر التنظيف بالبلازما بديلاً جافًا صديقًا للبيئة وفعالًا ويمكن التحكم فيه لطرق التنظيف التقليدية القائمة على المذيبات.

  ◇◇  التكوين  ◇◇

تتكون بشكل أساسي من حجرة مفرغة، وألواح قطب كهربائي، ومصدر طاقة تردد الراديو (RF)، ومطابق، ومضخة فراغ.

◇◇  المميزات  ◇◇

• درجة حرارة منخفضة ومعالجة سريعة: تعمل بالقرب من درجة حرارة الغرفة (<50 درجة مئوية) مع أوقات دورة قصيرة، مما يمنع تلف المواد الحساسة للحرارة.

• تنظيف فائق: يزيل الملوثات عند المستوى ≥0.1 نانومتر، مما يتجاوز حدود طرق التنظيف الرطب التقليدية.

• عملية صديقة للبيئة وجافة: تقضي على المذيبات الكيميائية ومياه الصرف الصحي؛ يستخدم الغازات الخاملة/التفاعلية دون توليد منتجات ثانوية سامة.

• ذكي وقابل للتتبع: يتميز بالتحكم الذكي في العمليات مع إمكانية تتبع بيانات الإنتاج الكاملة.

  
  

           ◇◇ أداء العملية  ◇◇

                             

                                     قبل العلاج، زاوية الاتصال = 85.6 درجة بعد العلاج، زاوية الاتصال = 14.3 درجة

◇◇  الفنية المواصفات  ◇◇

سعة الغرفة	110L
حجم الغرفة	525 (عرض) × 445 (عمق) × 495 (ارتفاع) ملم
نطاق الطاقة	قابل للتعديل باستمرار من 0-600 واط، الدقة ±1%
تردد الراديو	13.56 ميجا هرتز ± 0.05%
سرعة المعالجة	3 ~ 10 دقائق (تخضع لأداء المعالجة)
أداء ما بعد المعالجة	زاوية ملامسة الماء <15 درجة
طريقة المطابقة	شبكة مطابقة المعاوقة التلقائية
نوع القطب	لوحة موازية اقتران بالسعة
مادة القطب	بأكسيد الألومنيوم
تكوين لوحة القطب	أفقي، 4 أقطاب كهربائية (يمكن تعديل عدد طبقات القطب الأفقي أو الارتفاع) تحميل الكاسيت متاح
طريقة تثبيت القطب الكهربائي	المكونات في انفصال
مضخة فراغ	مضخة ميكانيكية دوارة دوارة
سرعة الضخ	60 م⊃3;/ساعة
درجة الفراغ النهائية	≥5Pa
نطاق فراغ التشغيل	10-100 باسكال
رقم قناة الغاز المعالجة	معيار 2 قنوات. قنوات متعددة اختيارية
أنواع الغاز	أر، O₂، N₂، H₂. الغاز المسببة للتآكل CF₄ اختياري
طريقة التحكم بالغاز	جهاز التحكم في التدفق الشامل (MFC)
نطاق قياس MFC ودقته	0-300 سم، الدقة ±2% FS
حجم صينية التحميل	400 مم (طول) * 473 مم (عرض)
حجم المعدات	900 (عرض) × 1100 (عمق) × 1750 (ارتفاع) ملم (باستثناء ارتفاع الضوء ثلاثي الألوان)
وزن المعدات	حوالي 450 كجم

◇◇  منطقة تطبيقية  ◇◇