Vakum Radyo Frekansı Plazma Temizleme Ekipmanı

◇◇ Genel Bakış  ◇◇

 Baskı, kaplama, laminasyon ve kapsülleme gibi kritik işlemler için güvenilir yüzey ön işlemi sağlarken zayıf yapışma, düzensiz kaplama ve zayıf bağlanma gibi yaygın sorunları da ele alır. Ayrıca plazma temizleme, geleneksel solvent bazlı temizleme yöntemlerine çevre dostu, verimli ve kontrol edilebilir bir kuru alternatif sunar.

  ◇◇  Kompozisyon  ◇◇

Temel olarak vakum odası, elektrot plakaları, radyo frekansı (RF) güç kaynağı, eşleştirici ve vakum pompasından oluşur.

◇◇  Özellikler  ◇◇

• Düşük sıcaklık ve hızlı işleme: Oda sıcaklığına yakın (<50°C) kısa çevrim süreleriyle çalışarak ısıya duyarlı malzemelerin hasar görmesini önler.

• Üstün temizlik: Geleneksel ıslak temizleme yöntemlerinin sınırlarını aşarak≤0,1nm düzeyindeki kirleticileri giderir.

• Çevre dostu ve kuru proses: Kimyasal solventleri ve atık suyu ortadan kaldırır; Toksik yan ürünler üretmeden inert/reaktif gazlar kullanır.

• Akıllı ve izlenebilir: Tam üretim verileri izlenebilirliğine sahip akıllı proses kontrolüne sahiptir.

  
  

           ◇◇ Süreç performansı  ◇◇

                             

                                     Tedaviden önce, temas açısı = 85,6° Tedaviden sonra, Temas açısı = 14,3°

◇◇  Teknik Özellikler  ◇◇

Hazne kapasitesi	110L
Hazne boyutu	525(G)×445(D)×495(Y)mm
Güç aralığı	0-600W arasında sürekli olarak ayarlanabilir, hassasiyet ±%1
Radyo frekansı	13,56MHz ± %0,05
İşleme hızı	3~10 dakika (işleme performansına bağlı)
İşlem sonrası performansı	Su temas açısı< 15°
Eşleştirme yöntemi	Otomatik empedans eşleştirme ağı
Elektrot tipi	Paralel plakalı kapasitif bağlantı
Elektrot malzemesi	Eloksallı alüminyum
Elektrot plakası konfigürasyonu	Yatay, 4 elektrot (yatay elektrot katmanlarının sayısı veya yüksekliği ayarlanabilir) Kaset yükleme mevcuttur
Elektrot sabitleme yöntemi	Çıkarılabilir eklenti
Vakum pompası	Döner kanatlı mekanik pompa
Pompalama hızı	60m³/saat
Nihai vakum derecesi	≤5Pa
Çalışma vakum aralığı	10-100Pa
Proses gazının kanal numarası	Standart 2 kanal. Çoklu kanallar isteğe bağlıdır
Gaz türleri	Ar, O₂, N₂, H₂. Aşındırıcı gaz CF₄ İsteğe Bağlıdır
Gaz kontrol yöntemi	Kütle Akış Kontrolörü (MFC)
MFC ölçüm aralığı ve doğruluğu	0-300 sccm, doğruluk ±%2 FS
Tepsi boyutu yükleniyor	400mm(U)*473mm(G)
Ekipman boyutu	900(G)×1100(D)×1750 (Y)mm (üç renkli ışığın yüksekliği hariç)
Ekipman ağırlığı	Yaklaşık 450KG

◇◇  Bir uygulama alanı  ◇◇