ציוד לניקוי פלזמה בתדר רדיו ואקום

◇◇ סקירה כללית  ◇◇

 הוא מספק טיפול מקדים אמין עבור תהליכים קריטיים לרבות הדפסה, ציפוי, למינציה וכוסות, תוך טיפול בבעיות נפוצות כמו הידבקות לקויה, ציפוי לא אחיד והדבקה חלשה. יתר על כן, ניקוי פלזמה מציע חלופה יבשה ידידותית לסביבה, יעילה וניתנת לשליטה לשיטות ניקוי מסורתיות מבוססות ממס.

  ◇◇  הרכב  ◇◇

מורכב בעיקר מתא ואקום, לוחות אלקטרודות, אספקת חשמל בתדר רדיו (RF), מאפר ומשאבת ואקום.

◇◇  תכונות  ◇◇

• טמפרטורה נמוכה ועיבוד מהיר: פועל ליד טמפרטורת החדר (<50°C) עם זמני מחזור קצרים, מונע נזק לחומרים רגישים לחום.

• ניקוי מעולה: מסיר מזהמים ברמה של ≤0.1 ננומטר, מעבר לגבולות שיטות הניקוי הרטוב המסורתיות.

• תהליך ידידותי לסביבה ויבש: מבטל ממיסים כימיים ומי שפכים; משתמש בגזים אינרטיים/ריאקטיביים מבלי ליצור תוצרי לוואי רעילים.

• אינטליגנטי וניתן למעקב: כולל בקרת תהליכים חכמה עם מעקב מלא של נתוני ייצור.

  
  

           ◇◇ ביצועי תהליך  ◇◇

                             

                                     לפני הטיפול, זווית מגע = 85.6° לאחר הטיפול, זווית מגע = 14.3°

◇◇  טכני מפרט  ◇◇

קיבולת לשכתית	110L
גודל החדר	525(W)×445(D)×495(H)mm
טווח כוח	מתכוונן ברציפות מ-0-600W, דיוק ±1%
תדר רדיו	13.56 מגה-הרץ ± 0.05%
מהירות עיבוד	3 ~ 10 דקות (בכפוף לביצועי העיבוד)
ביצועים לאחר עיבוד	זווית מגע מים < 15°
שיטת התאמה	רשת התאמת עכבה אוטומטית
סוג אלקטרודה	צימוד קיבולי של לוחות מקבילים
חומר אלקטרודה	אלומיניום אנודייז
תצורת לוחית אלקטרודה	אופקי, 4 אלקטרודות (ניתן להתאים את מספר שכבות האלקטרודות האופקיות או הגובה) טעינת קלטות זמינה
שיטת קיבוע אלקטרודה	תוסף ניתן להסרה
משאבת ואקום	משאבה מכנית שבשבת סיבובית
מהירות שאיבה	60מ⊃3;/שעה
דרגת ואקום אולטימטיבית	≤5Pa
טווח ואקום הפעלה	10-100Pa
מספר ערוץ של גז תהליך	2 ערוצים סטנדרטיים. מספר ערוצים הם אופציונליים
סוגי גז	Ar, O₂, N₂, H₂. גז קורוזיבי CF₄ הוא אופציונלי
שיטת בקרת גז	בקר זרימת המונים (MFC)
טווח מדידת MFC ודיוק	0-300 sccm, דיוק ±2% FS
גודל מגש טעינה	400 מ'מ (L）*473 מ'מ (W)
גודל הציוד	900(W)×1100(D)×1750(H)mm (לא כולל גובה האור בשלושה צבעים)
משקל הציוד	בערך 450 ק'ג

◇◇  יישום אזור  ◇◇