ציוד לניקוי פלזמה מקוון בוואקום

◇◇ תכונות  ◇◇

• הייצור הרציף המקוון מאפשר חיבור חלק עם תהליכים קודמים ואחרים, הפחתת טיפול ידני, הורדת עלויות ושיעורי שגיאות.

• תנאי הוואקום ניתנים לשליטה רבה, ופרמטרי תהליך (לחץ אוויר, הרכב גז, כוח וכו') קלים לוויסות מדויק ולחזור, מה שמבטיח יציבות בין אצווה.

• אחידות טיפול גבוהה: מבני אלקטרודה ותא מתוכננים היטב, בשילוב עם בקרת שדה זרימת גז, מאפשר טיפול אחיד בחלקי עבודה בעלי שטח גדול ומורכב.

• אמינות גבוהה: עם העיצוב ברמה התעשייתית, נבחרים מוצרים באיכות גבוהה עבור רכיבי מפתח (כגון משאבות ואקום, מחוללי תדר רדיו/מיקרוגל, והתקנים תואמים) כדי להבטיח יציבות ואמינות של פעולה רציפה לטווח ארוך.

• התאמה לחלקי עבודה מורכבים: באמצעות מתקנים ומערכות שינוע מתוכננות בצורה סבירה, הוא יכול להתמודד עם חלקי עבודה שטוחים, מעוקלים בתלת מימד ובצורה לא סדירה.

• ניקוי פלזמה מציע חלופה יבשה ידידותית לסביבה, יעילה וניתנת לשליטה לשיטות ניקוי מסורתיות מבוססות ממס.
  

◇◇  טכני מפרט  ◇◇

גודל המוצר	אורך: 150-270 מ'מ, רוחב: 35-95 מ'מ
גודל תא תגובה	610*320*47 מ'מ
יְעִילוּת	4 ערוצים עם 4 חלקים, בערך. 500 יח' לשעה
מחולל פלזמה	תדר 13.56MHz ± 0.05%, הספק מתכוונן 0 - 1000W עם התאמת עכבה אוטומטית.
מערכת נתיבי גז	התצורה הסטנדרטית כוללת 2 תעלות (O₂/Ar/H₂/N 2), נשלטות על ידי מדי זרימת מסה, קצב זרימת גז מתכוונן 0-300 מ'ל/דקה.
משאבת ואקום	משאבה יבשה / משאבת שמן
מהירות שאיבה	60מ⊃3;/שעה
דרגת ואקום אולטימטיבית	≤5Pa
טווח ואקום הפעלה	10-150Pa
זמן פינוי	≤ 40 שניות
זמן הפסקת ואקום	≤ 15 שניות
מערכת בקרה	מסך מגע + PLC שליטה אוטומטית מלאה
גודל הציוד	2100 (W) × 1300 (D) × 1800 (H) מ'מ
מִשׁקָל	בערך 2000 ק'ג

◇◇  אזור יישום  ◇◇