Vacuum Radio Frequency Plasma Purgatio Equipment

Overview ​ ​

 Certam superficiem praetractationem praebet pro processibus criticis inter impressiones, tunicas, laminas, et encapsulationes, dum communes quaestiones quasi adhaesio pauperis, tunicae inaequalis, et compaginem infirmam alloquitur. Praeterea plasma purgatio praebet eco-amicam, efficientem, et moderabilem optionem aridam ad traditionales modos solvendo-substructio purgandos.

  Compositio ​ ​

Maxime ex vacui cubiculi, laminae electrode, frequentiae radiophonicae (RF) copiae potentiae, matcher et sentinae vacuum.

Features ​ ​

• Temperatus & celeris processus: Operatur apud cella temperies (<50°C) cum brevibus cyclis temporibus, impediendo damnum materiae sensitivae calori.

• Superior purgatio: contaminantes removet ad level≤0.1nm, transcendens limites emundationis modos traditorum infectum.

• Eco-amica & arida processum: eliminat chemica menstrua et wastewater; utitur iners / reactivum gasorum sine toxico generando per-products.

• Intelligentes & deprauabiles: Features processus callidi control cum plena productione data traceability.

  
  

           Processus perfomance ​

                             

                                     ante curationem , angulus contactus = 85,6° post curationem , angulus contactus = 14.3°

Specifications Technical ​ ​

Cubiculum capacitatis	110L
Cubiculum magnitudine	525(W)×445(D)×495(H)mm
Power range	Continuo adjustable ex 0-600W, praecisione ± 1%
Radio frequentia	13.56MHz ± 0.05%
Celeritas processus	III ~ X minuta (re ad dispensando perficiendi)
Post-dispensando perficiendi	Aquae contactus angulus<15°
Compositus modus	Impedimentum dui matching network
Electrode type	Parallela lamina capacitiva coitus
Electrode materia	Anodized aluminium
Configuratione laminam Electrode	Horizontalis, 4 electrodes (numerus stratorum horizontalium electrode vel altitudo componi potest) Cassette loading is available
Electrode determinatio methodi	Obturaculum-in delapsum
Vacuum sentinam	Vane mechanica sentinam gyratorius
Elit celeritas	60m³/h
Ultimum vacuum gradum	≤5Pa
Vacuum range operating	10-100Pa
Channel numerus processus gas	canales sacra II. Plures canales ad libitum
Gas types	Ar, O₂, N₂, H₂. Corrosivum gas CF₄ est libitum
Gas modum imperium	Missa O Controller (MFC)
MFC measurement range ac accurate	0-300 sccm, accuratione ± 2% FS
Ipsumque loading magnitudine	400mm(L）*473mm(W)
Apparatus magnitudine	900(W) ×1100(D)×1750 (H)mm (exclusa altitudine tri-coloris lucis)
apparatu pondus	De 450KG

area A application  ​