Обладнання для вакуумного радіочастотного плазмового очищення

◇◇ Огляд  ◇◇

 Він забезпечує надійну попередню обробку поверхні для важливих процесів, включаючи друк, покриття, ламінування та інкапсуляцію, одночасно вирішуючи загальні проблеми, такі як погана адгезія, нерівне покриття та слабке з’єднання. Крім того, плазмове очищення пропонує екологічно чисту, ефективну та контрольовану суху альтернативу традиційним методам очищення на основі розчинників.

  ◇◇  Склад  ◇◇

В основному складається з вакуумної камери, електродних пластин, радіочастотного (РЧ) джерела живлення, відповідника та вакуумного насоса.

◇◇  Особливості  ◇◇

• Низькотемпературна та швидка обробка: працює при температурі, наближеній до кімнатної (<50°C) з коротким часом циклу, запобігаючи пошкодженню термочутливих матеріалів.

• Чудове очищення: видаляє забруднення на рівні ≤0,1 нм, перевершуючи межі традиційних методів вологого прибирання.

• Екологічно чистий і сухий процес: усуває хімічні розчинники та стічні води; використовує інертні/реактивні гази без утворення токсичних побічних продуктів.

• Інтелектуальний і відстежуваний: забезпечує інтелектуальне керування процесом із повним відстеженням виробничих даних.

  
  

           ◇◇ Продуктивність процесу  ◇◇

                             

                                     до лікування, контактний кут = 85,6° після лікування, контактний кут = 14,3°

◇◇  Технічні характеристики  ◇◇

Ємність камери	110L
Розмір камери	525(Ш)×445(Г)×495(В) мм
Діапазон потужності	Плавне регулювання від 0-600 Вт, точність ±1%
Радіочастота	13,56 МГц ± 0,05%
Швидкість обробки	3~10 хвилин (залежить від продуктивності обробки)
Ефективність постобробки	Кут контакту з водою < 15°
Метод узгодження	Мережа автоматичного узгодження імпедансу
Тип електрода	Ємнісний зв'язок з паралельними пластинами
Матеріал електродів	Анодований алюміній
Конфігурація електродної пластини	Горизонтальний, 4 електроди (кількість горизонтальних шарів електродів або висоту можна регулювати) Є можливість завантаження касет
Спосіб фіксації електродів	Вставний знімний
Вакуумний насос	Роторно-лопатевий механічний насос
Швидкість відкачування	60м⊃3;/год
Граничний ступінь вакууму	≤5Па
Робочий діапазон вакууму	10-100 Па
Номер каналу технологічного газу	Стандарт 2 канали. Кілька каналів необов'язкові
Види газу	Ar, O₂, N₂, H₂. Корозійний газ CF₄ необов'язковий
Метод газового контролю	Контролер масової витрати (MFC)
Діапазон і точність вимірювання MFC	0-300 sccm, точність ±2% FS
Розмір завантажувального лотка	400 мм (Д) * 473 мм (Ш)
Розмір обладнання	900 (Ш) × 1100 (Г) × 1750 (В) мм (без урахування висоти триколірного світла)
Вага обладнання	Близько 450 кг

◇◇  застосування Область  ◇◇