|
| Số lượng: | |
|---|---|
PTC-CCP110
PTC
◇◇ Tổng quan ◇◇
Nó cung cấp khả năng xử lý trước bề mặt đáng tin cậy cho các quy trình quan trọng bao gồm in, phủ, cán màng và đóng gói, đồng thời giải quyết các vấn đề phổ biến như độ bám dính kém, lớp phủ không đồng đều và liên kết yếu. Hơn nữa, làm sạch bằng plasma mang lại giải pháp thay thế khô thân thiện với môi trường, hiệu quả và có thể kiểm soát được so với các phương pháp làm sạch dựa trên dung môi truyền thống.
◇◇ Thành phần ◇◇
Chủ yếu bao gồm buồng chân không, tấm điện cực, nguồn điện tần số vô tuyến (RF), máy so khớp và bơm chân không.
◇◇ Tính năng ◇◇
Xử lý nhanh và nhiệt độ thấp: Hoạt động gần nhiệt độ phòng (<50°C) với thời gian chu kỳ ngắn, ngăn ngừa hư hỏng các vật liệu nhạy cảm với nhiệt.
Làm sạch vượt trội: Loại bỏ các chất gây ô nhiễm ở mức<0,1nm, vượt qua giới hạn của các phương pháp làm sạch ướt truyền thống.
Quy trình khô & thân thiện với môi trường: Loại bỏ dung môi hóa học và nước thải; sử dụng khí trơ/phản ứng mà không tạo ra sản phẩm phụ độc hại.
Thông minh & có thể truy nguyên: Tính năng kiểm soát quy trình thông minh với khả năng truy xuất nguồn gốc dữ liệu sản xuất đầy đủ.
◇◇ Hiệu suất quy trình ◇◇
trước khi xử lý, góc tiếp xúc = 85,6° sau khi xử lý, góc tiếp xúc = 14,3°
◇◇ kỹ thuật Thông số ◇◇
Công suất buồng |
110L |
| Kích thước buồng | 525(W)×445(D)×495(H)mm |
| Dải công suất | Điều chỉnh liên tục từ 0-600W, độ chính xác ±1% |
| Tần số vô tuyến | 13,56 MHz ± 0,05% |
| Tốc độ xử lý | 3~10 phút (tùy thuộc vào hiệu suất xử lý) |
| Hiệu suất xử lý hậu kỳ | Góc tiếp xúc với nước < 15° |
| Phương pháp so khớp | Mạng phối hợp trở kháng tự động |
| loại điện cực | Khớp nối điện dung tấm song song |
| Vật liệu điện cực | Nhôm anod hóa |
Cấu hình tấm điện cực |
Ngang, 4 điện cực (có thể điều chỉnh số lớp điện cực ngang hoặc chiều cao) Tải băng cassette có sẵn |
Phương pháp cố định điện cực |
Plug-in có thể tháo rời |
Bơm chân không |
Bơm cơ cánh gạt quay |
Tốc độ bơm |
60m³/h |
Độ chân không cuối cùng |
5Pa |
Phạm vi chân không hoạt động |
10-100Pa |
Số kênh của khí xử lý |
Chuẩn 2 kênh. Nhiều kênh là tùy chọn |
| Các loại khí | Ar, O₂, N₂, H₂. Khí ăn mòn CF₄ là Tùy chọn |
| Phương pháp kiểm soát khí | Bộ điều khiển lưu lượng lớn (MFC) |
| Phạm vi đo và độ chính xác của MFC | 0-300 sccm, độ chính xác ±2% FS |
| Kích thước khay nạp | 400mm(L)*473mm(W) |
| Kích thước thiết bị | 900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (không bao gồm chiều cao của ánh sáng ba màu) |
| Trọng lượng thiết bị | Khoảng 450kg |
◇◇ Khu vực ứng dụng ◇◇
