Az automatikus optikai hibavizsgáló berendezés többállomásos optikai képalkotó rendszert használ a mintalapok képeinek rögzítésére. Egy adott algoritmus feldolgozza a kapott képeket, hogy rögzítse a hibákat.
Ez az automatizált optikai ellenőrző gép nemcsak hatékonyan javítja az észlelési hatékonyságot, hanem nagyban csökkenti a hiányzó arányt is. A berendezés által ellenőrzött hibák közé tartozik a kiemelkedés, a maradék réz, a vágási elmozdulás, a rossz forrasztási maszk, az oxidáció, a karcolások, a rézhiány, a buborékok, a rossz bevonat stb.
