Echipamentul de inspecție automată a defectelor optice utilizează un sistem de imagistică optică cu mai multe stații pentru a captura imaginile plăcilor de probă. Un algoritm specific procesează imaginile achiziționate pentru a capta defectele.
Această mașină automată de inspecție optică poate nu numai să îmbunătățească eficient eficiența detectării, ci și să reducă foarte mult rata lipsă. Defectele inspectate de echipament includ proeminență, cupru rezidual, dislocare de tăiere, mască de lipire slabă, oxidare, zgârieturi, deficiență de cupru, bule, placare slabă și altele.
