Автоматты оптикалық ақауларды тексеру жабдығы үлгі тақталарының кескінін түсіру үшін көп станциялы оптикалық бейнелеу жүйесін пайдаланады. Арнайы алгоритм ақауларды түсіру үшін алынған кескіндерді өңдейді.
Бұл автоматтандырылған оптикалық тексеру машинасы анықтау тиімділігін тиімді түрде арттырып қана қоймайды, сонымен қатар жетіспейтін жылдамдықты айтарлықтай азайтады. Жабдықпен тексерілетін ақауларға шығыңқылық, мыс қалдығы, кесу дислокациясы, дәнекерлеудің нашар маскасы, тотығу, сызаттар, мыс жетіспеушілігі, көпіршіктер, нашар жалату және т.б.