Avtomatik optik qüsurların yoxlanılması avadanlığı nümunə lövhələrinin təsvirini çəkmək üçün çoxstansiyalı optik görüntüləmə sistemindən istifadə edir. Xüsusi alqoritm qüsurları ələ keçirmək üçün əldə edilən şəkilləri emal edir.
Bu avtomatlaşdırılmış optik yoxlama maşını yalnız aşkarlama səmərəliliyini effektiv şəkildə artıra bilməz, həm də itkin dərəcəsini əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilər. Avadanlıq tərəfindən yoxlanılan qüsurlara çıxıntı, mis qalıq, kəsici dislokasiya, zəif lehim maskası, oksidləşmə, cızıqlar, mis çatışmazlığı, qabarcıqlar, zəif örtük və s.
