อุปกรณ์ตรวจสอบข้อบกพร่องด้านแสงอัตโนมัติใช้ระบบสร้างภาพด้วยแสงแบบหลายสถานีเพื่อจับภาพแผงตัวอย่าง อัลกอริธึมเฉพาะจะประมวลผลภาพที่ได้มาเพื่อจับข้อบกพร่อง
เครื่องตรวจสอบด้วยแสงอัตโนมัตินี้ไม่เพียงแต่สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการตรวจจับได้อย่างมีประสิทธิภาพ แต่ยังช่วยลดอัตราที่หายไปได้อย่างมากอีกด้วย ข้อบกพร่องที่ตรวจสอบโดยอุปกรณ์ ได้แก่ การยื่นออกมา ทองแดงที่ตกค้าง ความคลาดเคลื่อนในการตัด หน้ากากประสานที่ไม่ดี การเกิดออกซิเดชัน รอยขีดข่วน การขาดทองแดง ฟองอากาศ การชุบที่ไม่ดี และอื่นๆ