유리 표면에 이온 교환층의 광 도파관 효과를 적용하여 측정합니다. 광원에서 방출된 발산광은 슬릿을 통과한 후 고굴절률 원통형 프리즘에 의해 수렴되어 평행광이 됩니다. 광원의 위치를 조정함으로써 평행광의 빔이 유리와 프리즘 사이의 경계면에 임계각으로 입사됩니다. 유리 표면에 존재하는 응력으로 인해 빛은 진동 평면이 서로 수직인 두 개의 벡터 조명으로 분해됩니다. 두 개의 광선은 유리의 이온 교환층에서 서로 다른 속도로 전파되므로 서로 다른 전반사 각도에서 프리즘으로 굴절됩니다. 프리즘에서 방출된 빛은 거울에 반사되어 간섭 필터에 들어가 망원경 시스템에 의해 포커싱된 후 분석 거울을 통과하여 레티클에 결상되어 밝고 어두운 계단 이미지를 형성합니다. 해석 소프트웨어를 통해 단차의 높이와 단차선의 수를 정확하게 측정하여 표면 응력 강도와 응력층의 깊이를 계산할 수 있습니다.
