AMB/DBC 自動フィルム検査・修復装置
セラミック基板エッチング前の乾膜・湿膜検査＋修正＋ベーキングを行う全自動装置です。
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| ドライフィルム残留物 | ドライフィルムの漏れ | ドライフィルムホール |
単体AOI装置
セラミック基板個片化後の単体外観欠陥検査装置。
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| はんだ残り | オープンとショート |
走査型音響トモグラフィー
ディスクリートデバイス、セラミック基板、モールドIC、光電子デバイスの検査＋ベークを行う全自動一貫装置。
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| バブル | 割れ目 | ピンホール |
セラミック基板表面欠陥検査装置
DCB/AMB/DPCプロセスセラミック基板の表面欠陥検査装置。
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| 開回路 | 短絡 | 銅 | ノッチ | バブル |
シンギュレーション装置
マスターカードを DBC/AMB セラミック基板に自動的に分割して単一ユニットにします。
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| マスターカード → 単体 |
