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◇◇ 특장점 ◇◇
온라인 연속 생산을 통해 이전 및 후속 프로세스와 원활하게 연결되어 수동 처리가 줄어들고 비용이 절감되며 오류율이 낮아집니다.
진공 조건은 고도로 제어 가능하며 공정 매개변수(공기 압력, 가스 구성, 전력 등)를 정밀하게 조절하고 반복하기가 쉬우므로 배치 간 안정성이 보장됩니다.
높은 처리 균일성: 잘 설계된 전극 및 챔버 구조와 가스 흐름 제어가 결합되어 대면적 및 복잡한 형상의 작업물을 균일하게 처리할 수 있습니다.
높은 신뢰성: 산업 등급 설계를 통해 주요 구성 요소(예: 진공 펌프, 무선 주파수/마이크로파 발생기 및 매칭 장치)에 고품질 제품을 선택하여 장기간 연속 작동의 안정성과 신뢰성을 보장합니다.
복잡한 공작물에 대한 적응성: 합리적으로 설계된 툴링 고정 장치와 운반 시스템을 통해 평면, 3D 곡선 및 불규칙한 모양의 공작물을 처리할 수 있습니다.
플라즈마 세척은 기존의 용제 기반 세척 방법에 비해 친환경적이고 효율적이며 제어 가능한 건식 대안을 제공합니다.
◇◇ 기술 사양 ◇◇
제품 크기
길이: 150-270mm, 너비: 35-95mm
반응실 크기
320(W) × 610(D) × 50(H)mm
능률
4개 조각으로 구성된 4채널, 약. 500 PC/시간
플라즈마 발생기
주파수 13.56MHz, 자동 임피던스 매칭으로 조정 가능한 전력 0 - 600W.
가스 경로 시스템
표준 구성에는 질량 유량계로 제어되는 2개 채널(O2/Ar/H2), 조정 가능한 가스 유량 0-200ml/min이 포함됩니다.
제어 시스템
터치스크린 + PLC 완전 자동 제어
장비 규모
2140(W) × 1340(D) × 1760(H)mm
◇◇ 적용분야 ◇◇
반도체 IC 분야, 의료, 인쇄회로기판, 자동차 전자, 항공우주 등
苏公网安备32058302005951号