◇◇ 特徴 ◇◇
オンラインでの連続生産により、前工程と後工程とのシームレスな接続が可能になり、手作業が削減され、コストとエラー率が削減されます。
真空条件は高度に制御可能であり、プロセスパラメータ(空気圧、ガス組成、電力など)は正確に調整して繰り返し行うことが容易であり、バッチ間の安定性を確保します。
高い処理均一性:適切に設計された電極およびチャンバー構造とガス流場制御の組み合わせにより、大面積および複雑な形状のワークピースの均一な処理が可能になります。
高い信頼性:産業用グレードの設計により、主要コンポーネント(真空ポンプ、高周波/マイクロ波発生器、整合器など)には高品質の製品が選択されており、長期連続運転の安定性と信頼性を確保しています。
複雑なワークへの適応性: 合理的に設計された治具と搬送システムにより、平面、3D 曲面、および不規則な形状のワークを処理できます。
プラズマ洗浄は、従来の溶剤ベースの洗浄方法に代わる、環境に優しく、効率的で制御可能な乾式洗浄方法を提供します。
◇◇ 技術 仕様 ◇◇
製品サイズ |
長さ:150~270mm、幅:35~95mm |
反応チャンバーのサイズ |
320(W)×610(D)×50(H)mm |
効率 |
4チャンネル×4個、約100g 500個/時間 |
プラズマ発生装置 |
周波数 13.56MHz、電力調整可能 0 ~ 600W、自動インピーダンスマッチング。 |
ガスパスシステム |
標準構成には 2 つのチャネル (O₂/Ar/H₂) が含まれており、質量流量計によって制御され、ガス流量は 0 ~ 200ml/min に調整できます。 |
制御システム |
タッチスクリーン+PLC全自動制御 |
装置サイズ |
2140(W)×1340(D)×1760(H)mm |
◇◇ 適用地域 ◇◇
半導体IC分野、医療、プリント基板、自動車エレクトロニクス、航空宇宙など
◇◇ 特徴 ◇◇
オンラインでの連続生産により、前工程と後工程とのシームレスな接続が可能になり、手作業が削減され、コストとエラー率が削減されます。
真空条件は高度に制御可能であり、プロセスパラメータ(空気圧、ガス組成、電力など)は正確に調整して繰り返し行うことが容易であり、バッチ間の安定性を確保します。
高い処理均一性:適切に設計された電極およびチャンバー構造とガス流場制御の組み合わせにより、大面積および複雑な形状のワークピースの均一な処理が可能になります。
高い信頼性:産業用グレードの設計により、主要コンポーネント(真空ポンプ、高周波/マイクロ波発生器、整合器など)には高品質の製品が選択されており、長期連続運転の安定性と信頼性を確保しています。
複雑なワークへの適応性: 合理的に設計された治具と搬送システムにより、平面、3D 曲面、および不規則な形状のワークを処理できます。
プラズマ洗浄は、従来の溶剤ベースの洗浄方法に代わる、環境に優しく、効率的で制御可能な乾式洗浄方法を提供します。
◇◇ 技術 仕様 ◇◇
製品サイズ |
長さ:150~270mm、幅:35~95mm |
反応チャンバーのサイズ |
320(W)×610(D)×50(H)mm |
効率 |
4チャンネル×4個、約100g 500個/時間 |
プラズマ発生装置 |
周波数 13.56MHz、電力調整可能 0 ~ 600W、自動インピーダンスマッチング。 |
ガスパスシステム |
標準構成には 2 つのチャネル (O₂/Ar/H₂) が含まれており、質量流量計によって制御され、ガス流量は 0 ~ 200ml/min に調整できます。 |
制御システム |
タッチスクリーン+PLC全自動制御 |
装置サイズ |
2140(W)×1340(D)×1760(H)mm |
◇◇ 適用地域 ◇◇
半導体IC分野、医療、プリント基板、自動車エレクトロニクス、航空宇宙など