| sẵn có: | |
|---|---|
| Số lượng: | |
◇◇ Tính năng ◇◇
Quá trình sản xuất liên tục trực tuyến cho phép kết nối liền mạch với các quy trình trước và sau, giảm việc xử lý thủ công, giảm chi phí và tỷ lệ lỗi.
Các điều kiện chân không có khả năng kiểm soát cao và các thông số quy trình (áp suất không khí, thành phần khí, công suất, v.v.) dễ dàng điều chỉnh và lặp lại chính xác, đảm bảo sự ổn định giữa các mẻ.
Độ đồng đều xử lý cao: Cấu trúc điện cực và buồng được thiết kế tốt, kết hợp với điều khiển trường dòng khí, cho phép xử lý đồng nhất các phôi có diện tích lớn và hình dạng phức tạp.
Độ tin cậy cao: Với thiết kế cấp công nghiệp, các sản phẩm chất lượng cao được lựa chọn cho các bộ phận chính (chẳng hạn như máy bơm chân không, máy phát tần số vô tuyến/vi sóng và các thiết bị phù hợp) để đảm bảo độ ổn định và độ tin cậy khi hoạt động liên tục trong thời gian dài.
Khả năng thích ứng với các phôi gia công phức tạp: Thông qua các thiết bị cố định dụng cụ và hệ thống vận chuyển được thiết kế hợp lý, nó có thể xử lý các phôi phẳng, cong 3D và có hình dạng không đều.
Làm sạch bằng plasma cung cấp giải pháp thay thế khô thân thiện với môi trường, hiệu quả và có thể kiểm soát được so với các phương pháp làm sạch dựa trên dung môi truyền thống.
◇◇ kỹ thuật Thông số ◇◇
Kích thước sản phẩm |
Chiều dài: 150-270mm, Chiều rộng: 35-95mm |
Kích thước buồng phản ứng |
320(W) × 610(D) × 50(H)mm |
Hiệu quả |
4 kênh với 4 miếng, khoảng. 500 chiếc/giờ |
Máy phát điện plasma |
Tần số 13,56 MHz, công suất điều chỉnh 0 - 600W với khả năng kết hợp trở kháng tự động. |
Hệ thống đường dẫn khí |
Cấu hình tiêu chuẩn bao gồm 2 kênh (O₂/Ar/H₂), được điều khiển bằng đồng hồ đo lưu lượng khối, tốc độ dòng khí có thể điều chỉnh 0- 200ml/phút. |
Hệ thống điều khiển |
Màn hình cảm ứng + Điều khiển tự động hoàn toàn PLC |
Kích thước thiết bị |
2140 (W) × 1340 (D) × 1760 (H) mm |
◇◇ Khu vực ứng dụng ◇◇
Lĩnh vực IC bán dẫn, điều trị y tế, bảng mạch in, điện tử ô tô, hàng không vũ trụ, v.v.