Aplicação de limpador de plasma no fluxo do processo de embalagem de semicondutores
| Os limpadores de plasma de ampla largura com pressão atmosférica são usados principalmente em áreas como materiais de película fina, têxteis, substratos de IC, FPC e PCB, materiais compósitos e vidro. | O limpador de plasma por radiofrequência (RF) a vácuo é aplicado principalmente em áreas que incluem embalagens de semicondutores, eletrônica 3C, biomédica, novas energias e defesa aeroespacial. |
O limpador de plasma em linha a vácuo é geralmente usado em áreas como IC de semicondutores, dispositivos médicos, PCB, eletrônicos automotivos e aeroespacial. |
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