Ứng dụng chất làm sạch plasma trong quy trình đóng gói chất bán dẫn
| Máy làm sạch plasma rộng áp suất khí quyển chủ yếu được sử dụng trong các lĩnh vực như vật liệu màng mỏng, dệt may, chất nền IC, FPC & PCB, vật liệu composite và thủy tinh. | Máy làm sạch plasma tần số vô tuyến chân không (RF) chủ yếu được áp dụng trong các lĩnh vực bao gồm Bao bì bán dẫn, Điện tử 3C, Y sinh, Năng lượng mới và Hàng không vũ trụ quốc phòng. |
Máy hút bụi plasma nội tuyến chân không thường được sử dụng trong các lĩnh vực như IC bán dẫn, thiết bị y tế, PCB, Điện tử ô tô và Hàng không vũ trụ. |
 |
 |
 |
