Применение плазменного очистителя в технологическом процессе упаковки полупроводников
| Плазмоочистители широкой ширины при атмосферном давлении в основном используются в таких областях, как тонкопленочные материалы, текстиль, подложки ИС, FPC и печатные платы, композитные материалы и стекло. | Вакуумный радиочастотный (РЧ) плазменный очиститель в основном применяется в таких областях, как производство полупроводниковой упаковки, электроника 3C, биомедицина, новая энергетика и оборонная аэрокосмическая промышленность. |
Вакуумный поточный плазменный очиститель обычно используется в таких областях, как производство полупроводниковых интегральных схем, медицинских приборов, печатных плат, автомобильной электроники и аэрокосмической промышленности. |
 |
 |
 |
