การใช้น้ำยาทำความสะอาดพลาสม่าในขั้นตอนกระบวนการบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์
| เครื่องทำความสะอาดพลาสมาความกว้างกว้างความดันบรรยากาศใช้เป็นหลักในด้านต่างๆ เช่น วัสดุฟิล์มบาง สิ่งทอ พื้นผิว IC, FPC และ PCB วัสดุคอมโพสิต และแก้ว | เครื่องทำความสะอาดพลาสมาความถี่วิทยุสุญญากาศ (RF) ส่วนใหญ่นำไปใช้ในด้านต่าง ๆ เช่น บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์, อิเล็กทรอนิกส์ 3C, ชีวการแพทย์, พลังงานใหม่ และการบินและอวกาศกลาโหม |
โดยทั่วไปแล้ว เครื่องทำความสะอาดพลาสมาแบบอินไลน์แบบสุญญากาศมักใช้ในด้านต่างๆ เช่น สารกึ่งตัวนำ IC, อุปกรณ์การแพทย์, PCB, อิเล็กทรอนิกส์สำหรับยานยนต์ และการบินและอวกาศ |
 |
 |
 |
