Плазма тазартқышты жартылай өткізгішті орау процесінің ағынында қолдану
| Атмосфералық қысымды кең плазмалық тазартқыш негізінен жұқа үлбірлі материалдар, тоқыма бұйымдары, IC субстраттары, FPC және ПХД, композиттік материалдар және шыны сияқты салаларда қолданылады. | Вакуумдық радиожиілік (RF) плазмалық тазартқыш негізінен жартылай өткізгіш қаптама, 3C электроника, биомедициналық, жаңа энергия және қорғаныс аэроғарыш салаларында қолданылады. |
Шаңсорғышты кірістірілген плазмалық тазартқыш әдетте жартылай өткізгіш IC, медициналық құрылғылар, ПХД, автомобиль электроникасы және аэроғарыш сияқты салаларда қолданылады. |
 |
 |
 |
