Вакуумдық радиожиілік плазмалық тазалауға арналған жабдық

◇◇ Шолу  ◇◇

 Ол нашар адгезия, біркелкі емес жабын және әлсіз байланыс сияқты жалпы мәселелерді шеше отырып, басып шығару, жабу, ламинация және инкапсуляция сияқты маңызды процестер үшін сенімді алдын ала өңдеуді қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, плазмалық тазалау дәстүрлі еріткіш негізіндегі тазалау әдістеріне экологиялық таза, тиімді және басқарылатын құрғақ балама ұсынады.

  ◇◇  Құрамы  ◇◇

Негізінен вакуумдық камерадан, электрод тақталарынан, радиожиілік (РЖ) қуат көзі, сәйкестендіргіш және вакуумдық сорғыдан тұрады.

◇◇  Мүмкіндіктер  ◇◇

• Төмен температурада және жылдам өңдеу: қысқа цикл уақыттарымен бөлме температурасына жақын (<50°C) жұмыс істейді, ыстыққа сезімтал материалдардың зақымдалуын болдырмайды.

• Жоғары тазалау: ластаушы заттарды≤0,1 нм деңгейінде тазартады, дәстүрлі ылғалды тазалау әдістерінің шегінен асып түседі.

• Экологиялық таза және құрғақ процесс: Химиялық еріткіштер мен ағынды суларды жояды; улы жанама өнімдер тудырмай инертті/реактивті газдарды пайдаланады.

• Интеллектуалды және қадағаланатын: толық өндірістік деректер қадағаланатын смарт процесті басқару мүмкіндігі.

  
  

           ◇◇ Процесс өнімділігі  ◇◇

                             

                                     өңдеуге дейін , жанасу бұрышы = 85,6° өңдеуден кейін , жанасу бұрышы = 14,3°

◇◇  Техникалық сипаттамалар  ◇◇

Камераның сыйымдылығы	110L
Камера өлшемі	525(В)×445(D)×495(H)мм
Қуат диапазоны	0-600Вт аралығында үздіксіз реттеледі, дәлдік ±1%
Радиожиілік	13,56 МГц ± 0,05%
Өңдеу жылдамдығы	3~10 минут (өндеу өнімділігіне байланысты)
Өңдеуден кейінгі өнімділік	Судың жанасу бұрышы< 15°
Сәйкестендіру әдісі	Автоматты кедергілерді сәйкестендіру желісі
Электрод түрі	Параллель пластинаның сыйымдылық муфтасы
Электродтық материал	Анодталған алюминий
Электрод пластинасының конфигурациясы	Көлденең, 4 электрод (көлденең электрод қабаттарының санын немесе биіктігін реттеуге болады) Кассетаны жүктеу мүмкіндігі бар
Электродтарды бекіту әдісі	Қосылатын модуль
Вакуумдық сорғы	Айналмалы қалақшалы механикалық сорғы
Айдау жылдамдығы	60м³/сағ
Ең жоғарғы вакуумдық дәреже	≤5Па
Жұмыс істейтін вакуум диапазоны	10-100Па
Технологиялық газдың арна нөмірі	Стандартты 2 арна. Бірнеше арна міндетті емес
Газ түрлері	Ar, O₂, N₂, H₂. Коррозиялық газ CF₄ қосымша болып табылады
Газды реттеу әдісі	Массалық ағын контроллері (MFC)
MFC өлшеу диапазоны және дәлдігі	0-300 сксм, дәлдік ±2% FS
Науа өлшемі жүктелуде	400мм(L）*473мм(В)
Жабдық өлшемі	900(В)×1100(D)×1750 (H)мм (үш түсті жарықтың биіктігін қоспағанда)
Жабдықтың салмағы	Шамамен 450 кг

◇◇  Қолдану аймағы  ◇◇