Оборудване за вакуумно радиочестотно плазмено почистване

◇◇ Общ преглед  ◇◇

 Осигурява надеждна предварителна обработка на повърхността за критични процеси, включително печат, покритие, ламиниране и капсулиране, като същевременно се справя с общи проблеми като лоша адхезия, неравномерно покритие и слабо свързване. Освен това, плазменото почистване предлага екологична, ефективна и контролируема суха алтернатива на традиционните методи за почистване, базирани на разтворители.

  ◇◇  Състав  ◇◇

Основно се състои от вакуумна камера, електродни плочи, радиочестотно (RF) захранване, съвпадение и вакуумна помпа.

◇◇  Характеристики  ◇◇

• Нискотемпературна и бърза обработка: Работи при температура близка до стайната (<50°C) с кратки времена на цикъла, предотвратявайки повреда на чувствителни към топлина материали.

• Превъзходно почистване: Премахва замърсителите на ниво≤0,1nm, надминавайки границите на традиционните методи за мокро почистване.

• Екологичен и сух процес: Елиминира химически разтворители и отпадъчни води; използва инертни/реактивни газове без генериране на токсични странични продукти.

• Интелигентен и проследим: Включва интелигентен контрол на процеса с пълна проследимост на производствените данни.

  
  

           ◇◇ Производителност на процеса  ◇◇

                             

                                     преди лечение, контактен ъгъл = 85,6° след лечение, контактен ъгъл = 14,3°

◇◇  Технически спецификации  ◇◇

Капацитет на камерата	110L
Размер на камерата	525(Ш)×445(Д)×495(В)mm
Диапазон на мощността	Непрекъснато регулируема от 0-600 W, точност ±1%
Радиочестота	13.56MHz ± 0.05%
Скорост на обработка	3~10 минути (в зависимост от производителността на обработката)
Ефективност при последваща обработка	Ъгъл на контакт с вода < 15°
Метод на съпоставяне	Мрежа за автоматично съгласуване на импеданса
Тип електрод	Капацитивно свързване с паралелна плоча
Материал на електрода	Анодизиран алуминий
Конфигурация на електродната плоча	Хоризонтален, 4 електрода (броят на хоризонталните електродни слоеве или височината могат да се регулират) Възможно е зареждане на касета
Метод за фиксиране на електрода	Разглобяем щепсел
Вакуумна помпа	Лопатково-роторна механична помпа
Скорост на изпомпване	60m³/ч
Максимална степен на вакуум	≤5Pa
Работен диапазон на вакуум	10-100Pa
Номер на канала на технологичния газ	Стандартни 2 канала. Няколко канала не са задължителни
Видове газ	Ar, O₂, N2, H2. Корозивният газ CF₄ не е задължителен
Метод за контрол на газа	Контролер на масовия поток (MFC)
Обхват и точност на измерване на MFC	0-300 sccm, точност ±2% FS
Размер на тавата за зареждане	400mm(L）*473mm(W)
Размер на оборудването	900(Ш)×1100(Д)×1750 (В)mm (без височината на трицветната светлина)
Тегло на оборудването	Около 450 кг

◇◇  приложение Област на  ◇◇