Trealamh Glanadh Plasma Minicíocht Raidió Fholúis

◇◇ Forbhreathnú  ◇◇

 Soláthraíonn sé réamhchóireáil dromchla iontaofa do phróisis chriticiúla lena n-áirítear priontáil, sciath, lannú agus imchochlú, agus ag an am céanna tugann sé aghaidh ar shaincheisteanna coitianta amhail greamaitheacht lag, sciath míchothrom, agus nascáil lag. Ina theannta sin, cuireann glantachán plasma rogha eile tirim atá neamhdhíobhálach don chomhshaol, éifeachtach agus inrialaithe ar mhodhanna glantacháin traidisiúnta bunaithe ar thuaslagóirí ar fáil.

  ◇◇  Comhdhéanamh  ◇◇

Go príomha comhdhéanta de seomra folúis, plátaí leictreoid, minicíocht raidió (RF) soláthar cumhachta, matcher, agus caidéal folúis.

◇◇  Gnéithe  ◇◇

• Teocht íseal & próiseáil tapa: Feidhmíonn sé gar do theocht an tseomra (<50 ° C) le hamanna timthriallta gearra, rud a choscann damáiste d'ábhair teas-íogair.

• Glantachán níos fearr: Baintear ábhar salaithe ag an leibhéal≤0.1nm, ag dul thar theorainneacha na modhanna glantacháin fliuch traidisiúnta.

• Próiseas éicea-chairdiúil & tirim: Cuireann sé deireadh le tuaslagóirí ceimiceacha agus fuíolluisce; úsáideann gáis támha/imoibríocha gan seachtháirgí tocsaineacha a ghiniúint.

• Chliste & inrianaithe: Gnéithe rialaithe próiseas cliste le inrianaitheacht iomlán sonraí táirgeachta.

  
  

           ◇◇ Feidhmíocht próisis  ◇◇

                             

                                     roimh chóireáil , uillinn teagmhála = 85.6° tar éis cóireála , uillinn teagmhála = 14.3°

◇◇  Teicniúla Sonraíochtaí  ◇◇

Cumas seomra	110L
Méid an tSeomra	525(W)×445(D)×495(H)mm
Raon cumhachta	Inchoigeartaithe go leanúnach ó 0-600W, cruinneas ± 1%
Minicíocht raidió	13.56MHz ± 0.05%
Luas próiseála	3 ~ 10 nóiméad (faoi réir feidhmíochta próiseála)
Feidhmíocht iar-phróiseála	Uillinn teagmhála uisce< 15°
Modh meaitseála	Líonra meaitseála bacainn uathoibríoch
Cineál leictreoid	Cúpláil capacitive pláta comhthreomhar
Ábhar leictreoid	Alúmanam anodized
Cumraíocht pláta leictreoid	Cothrománach, 4 leictreoid (is féidir líon na sraitheanna leictreoidí cothrománacha nó airde a choigeartú) Tá luchtú caiséid ar fáil
Modh socraithe leictreoid	Breiseán inscortha
Caidéal folúis	Caidéal meicniúil eite rothlacha
Luas pumpála	60m³/u
Céim fholús deiridh	≤5pa
Raon bhfolús oibriúcháin	10-100Pa
Líon cainéal an gháis phróisis	Caighdeán 2 cainéal. Tá cainéil iolracha roghnach
Cineálacha gáis	Ar, O₂, N₂, H₂. Tá gás creimneach CF₄ Roghnach
Modh rialaithe gáis	Rialaitheoir Aifrinn Sreafa (MFC)
Raon tomhais MFC agus cruinneas	0-300 sccm, cruinneas ±2% FS
Méid an tráidire á lódáil	400mm(L）*473mm(W)
Méid trealaimh	900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (seachas airde an tsolais trí-dath)
Meáchan trealaimh	Thart ar 450KG

◇◇  Réimse iarratais  ◇◇