ვაკუუმური რადიოსიხშირული პლაზმური გამწმენდი მოწყობილობა

◇◇ მიმოხილვა  ◇◇

 ის უზრუნველყოფს ზედაპირის საიმედო წინასწარ დამუშავებას კრიტიკული პროცესებისთვის, მათ შორის ბეჭდვის, დაფარვის, ლამინირებისა და ინკაფსულაციის ჩათვლით, ხოლო აგვარებს საერთო საკითხებს, როგორიცაა ცუდი ადჰეზია, არათანაბარი საფარი და სუსტი შეკვრა. გარდა ამისა, პლაზმური წმენდა გთავაზობთ ეკოლოგიურად სუფთა, ეფექტურ და კონტროლირებად მშრალ ალტერნატივას გამხსნელებზე დაფუძნებული გაწმენდის ტრადიციული მეთოდების მიმართ.

  ◇◇  კომპოზიცია  ◇◇

ძირითადად შედგება ვაკუუმის კამერისგან, ელექტროდის ფირფიტებისგან, რადიოსიხშირული (RF) კვების წყაროსგან, შესატყვისი და ვაკუუმური ტუმბოსგან.

◇◇  მახასიათებლები  ◇◇

• დაბალი ტემპერატურა და სწრაფი დამუშავება: მუშაობს ოთახის ტემპერატურაზე (<50°C) ციკლის ხანმოკლე დროით, რაც ხელს უშლის სითბოსადმი მგრძნობიარე მასალების დაზიანებას.

• უმაღლესი გაწმენდა: აშორებს დამაბინძურებლებს ≤0,1 ნმ დონეზე, აჭარბებს სველი წმენდის ტრადიციული მეთოდების საზღვრებს.

• ეკოლოგიურად სუფთა და მშრალი პროცესი: შლის ქიმიურ გამხსნელებს და ჩამდინარე წყლებს; იყენებს ინერტულ/რეაქტიულ გაზებს ტოქსიკური ქვეპროდუქტების წარმოქმნის გარეშე.

• ინტელექტუალური და მიკვლევადი: აქვს პროცესის გონივრული კონტროლი სრული წარმოების მონაცემების მიკვლევადობით.

  
  

           ◇◇ პროცესის შესრულება  ◇◇

                             

                                     დამუშავებამდე კონტაქტის კუთხე = 85,6° დამუშავების შემდეგ, კონტაქტის კუთხე = 14,3°

◇◇  ტექნიკური მახასიათებლები  ◇◇

პალატის ტევადობა	110L
პალატის ზომა	525(W)×445(D)×495(H)მმ
სიმძლავრის დიაპაზონი	მუდმივად რეგულირებადი 0-600W, სიზუსტე ±1%
რადიო სიხშირე	13,56 MHz ± 0,05%
დამუშავების სიჩქარე	3-10 წუთი (დამუშავების შესრულების გათვალისწინებით)
დამუშავების შემდგომი შესრულება	წყალთან კონტაქტის კუთხე < 15°
შესატყვისი მეთოდი	ავტომატური წინაღობის შესატყვისი ქსელი
ელექტროდის ტიპი	პარალელური ფირფიტის კონდენსტაციური შეერთება
ელექტროდის მასალა	ანოდირებული ალუმინი
ელექტროდის ფირფიტის კონფიგურაცია	ჰორიზონტალური, 4 ელექტროდი (ჰორიზონტალური ელექტროდის ფენების რაოდენობა ან სიმაღლე შეიძლება დარეგულირდეს) კასეტის ჩატვირთვა შესაძლებელია
ელექტროდის დამაგრების მეთოდი	დანამატი მოხსნადი
ვაკუუმური ტუმბო	მბრუნავი ფლოტის მექანიკური ტუმბო
ტუმბოს სიჩქარე	60მ³/სთ
ვაკუუმის საბოლოო ხარისხი	≤5 Pa
ოპერაციული ვაკუუმის დიაპაზონი	10-100 Pa
პროცესის გაზის არხის ნომერი	სტანდარტული 2 არხი. მრავალი არხი არჩევითია
გაზის ტიპები	Ar, O2, N2, H2. კოროზიული გაზი CF4 არის სურვილისამებრ
გაზის კონტროლის მეთოდი	მასის ნაკადის კონტროლერი (MFC)
MFC გაზომვის დიაპაზონი და სიზუსტე	0-300 sccm, სიზუსტე ±2% FS
ჩატვირთვის უჯრის ზომა	400 მმ (L）*473 მმ (W)
აღჭურვილობის ზომა	900(W)×1100(D)×1750 (H) მმ (სამი ფერის სინათლის სიმაღლის გამოკლებით)
აღჭურვილობის წონა	დაახლოებით 450 კგ

◇◇  აპლიკაციის არე  ◇◇