|
| Саны: | |
|---|---|
PTC-CCP110
PTC
◇◇ Обзор ◇◇
Ал басып чыгаруу, каптоо, ламинациялоо жана инкапсуляциялоону камтыган критикалык процесстер үчүн ишенимдүү бетти алдын ала тазалоону камсыз кылат, ошол эле учурда начар адгезия, тегиз эмес каптоо жана начар байланыш сыяктуу жалпы маселелерди чечет. Мындан тышкары, плазма тазалоо салттуу эриткичке негизделген тазалоо ыкмаларына экологиялык жактан таза, натыйжалуу жана башкарылуучу кургак альтернатива сунуштайт.
◇◇ Курамы ◇◇
Негизинен вакуумдук камерадан, электрод плиталарынан, радио жыштыктан (RF) электр менен жабдуу, дал келүүчү жана вакуумдук насостон турат.
◇◇ Өзгөчөлүктөрү ◇◇
Төмөн температурада жана тез иштетүү: бөлмө температурасында (<50°C) кыска цикл убакыттары менен иштейт, жылуулукка сезгич материалдардын бузулушуна жол бербейт.
Жогорку тазалоо: салттуу нымдуу тазалоо ыкмаларынын чегинен ашып, level≤0.1nm булгоочу заттарды жок кылат.
Экологиялык таза жана кургак процесс: Химиялык эриткичтерди жана агынды сууларды жок кылат; уулуу кошумча продуктуларды жаратпастан инерттүү/реактивдүү газдарды колдонот.
Акылдуу жана байкоого болот: Өндүрүш маалыматтарын толук көзөмөлдөө менен акылдуу процессти башкаруу өзгөчөлүктөрү.
◇◇ Процесстин аткарылышы ◇◇
дарылоо алдында, байланыш бурчу = 85,6 ° дарылоо кийин, байланыш бурчу = 14,3 °
◇◇ Техникалык мүнөздөмөлөр ◇◇
Палатанын сыйымдуулугу |
110L |
| Камера өлчөмү | 525(W)×445(D)×495(H)мм |
| Кубат диапазону | 0-600W чейин үзгүлтүксүз жөнгө салынуучу, тактык ± 1% |
| Радио жыштык | 13,56 МГц ± 0,05% |
| Иштетүү ылдамдыгы | 3 ~ 10 мүнөт (иштетүү көрсөткүчүнө жараша) |
| Кайра иштетүүдөн кийинки аткаруу | Суунун байланыш бурчу< 15° |
| Дал келүү ыкмасы | Автоматтык импеданс дал келүүчү тармак |
| Электрод түрү | Параллелдик пластинка сыйымдуулугун бириктирүү |
| Электроддук материал | Аноддолгон алюминий |
Электрод плитасынын конфигурациясы |
Горизонталдуу, 4 электрод (горизонталдык электрод катмарларынын саны же бийиктиги жөнгө салынышы мүмкүн) Кассетаны жүктөө жеткиликтүү |
Электродду бекитүү ыкмасы |
Плагинди ажыратууга болот |
Вакуумдук насос |
Айлануучу канаттуу механикалык насос |
Насостун ылдамдыгы |
60м³/саат |
Эң жогорку вакуумдук даража |
≤5Па |
Иштөө вакуумунун диапазону |
10-100Па |
Технологиялык газдын канал номери |
Стандарттык 2 канал. Бир нече каналдар милдеттүү эмес |
| Газ түрлөрү | Ar, O₂, N₂, H₂. Коррозиялык газ CF₄ Кошумча |
| Газды башкаруу ыкмасы | Массалык агым контроллери (MFC) |
| MFC өлчөө диапазону жана тактыгы | 0-300 sccm, тактык ±2% FS |
| Салгычтын өлчөмү жүктөлүүдө | 400мм(L）*473mm(W) |
| Жабдуулардын өлчөмү | 900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (үч түстүү жарыктын бийиктигин эске албаганда) |
| Жабдуулардын салмагы | Болжол менен 450KG |
◇◇ Колдонуу аймагы ◇◇
