Offer Glanhau Plasma Amledd Radio Gwactod

◇◇ Trosolwg  ◇◇

 Mae'n darparu rhag-driniaeth arwyneb dibynadwy ar gyfer prosesau critigol gan gynnwys argraffu, cotio, lamineiddio, ac amgáu, wrth fynd i'r afael â materion cyffredin fel adlyniad gwael, cotio anwastad, a bondio gwan. At hynny, mae glanhau plasma yn cynnig dewis sych ecogyfeillgar, effeithlon y gellir ei reoli yn lle dulliau glanhau traddodiadol sy'n seiliedig ar doddydd.

  ◇◇  Cyfansoddiad  ◇◇

Yn bennaf yn cynnwys siambr gwactod, platiau electrod, cyflenwad pŵer amledd radio (RF), matsiwr, a phwmp gwactod.

◇◇  Nodweddion  ◇◇

• Tymheredd isel a phrosesu cyflym: Yn gweithredu ger tymheredd yr ystafell (<50 ° C) gydag amseroedd beicio byr, gan atal difrod i ddeunyddiau sy'n sensitif i wres.

• Glanhau uwch: Yn cael gwared ar halogion ar y lefel≤0.1nm, gan ragori ar derfynau dulliau glanhau gwlyb traddodiadol.

• Proses eco-gyfeillgar a sych: Yn dileu toddyddion cemegol a dŵr gwastraff; yn defnyddio nwyon anadweithiol/adweithiol heb gynhyrchu sgil-gynhyrchion gwenwynig.

• Deallus ac olrheiniadwy: Yn cynnwys rheolaeth broses glyfar gydag olrhain data cynhyrchu llawn.

  
  

           ◇◇ Perfformiad prosesau  ◇◇

                             

                                     cyn triniaeth , ongl cyswllt = 85.6 ° ar ôl triniaeth , ongl gyswllt = 14.3 °

◇◇  Technegol Manylebau  ◇◇

Capasiti'r Siambr	110L
Maint y siambr	525(W) × 445(D) × 495(H) mm
Ystod pŵer	Gellir ei addasu'n barhaus o 0-600W, manwl gywirdeb ± 1%
Amledd radio	13.56MHz ± 0.05%
Cyflymder prosesu	3 ~ 10 munud (yn amodol ar berfformiad prosesu)
Perfformiad ôl-brosesu	Ongl cyswllt dŵr <15°
Dull paru	Rhwydwaith paru rhwystriant awtomatig
Math electrod	Plât cyfochrog cyplydd capacitive
Deunydd electrod	Alwminiwm anodized
Cyfluniad plât electrod	Llorweddol, 4 electrod (gellir addasu nifer yr haenau electrod llorweddol neu uchder) Mae llwytho casét ar gael
Dull gosod electrod	Ategyn datodadwy
Pwmp gwactod	Pwmp mecanyddol ceiliog cylchdro
Cyflymder pwmpio	60m³/awr
Gradd gwactod pen draw	≤5Pa
Gweithredu ystod gwactod	10-100Pa
Nifer y sianel o nwy proses	Sianeli 2 safonol. Mae sianeli lluosog yn ddewisol
Mathau o nwy	Ar, O₂, N₂, H₂. Nwy cyrydol CF₄ yn Ddewisol
Dull rheoli nwy	Rheolydd Llif Màs (MFC)
Ystod mesur a chywirdeb MFC	0-300 sccm, cywirdeb ±2% FS
Maint hambwrdd llwytho	400mm(L）*473mm(W)
Maint offer	900(W) × 1100(D) × 1750 (H) mm (ac eithrio uchder golau tri-liw)
Pwysau offer	Tua 450KG

◇◇  Maes cais  ◇◇