|
| Kiekis: | |
|---|---|
PTC-CCP110
PTC
◇◇ Apžvalga ◇◇
Jis užtikrina patikimą paviršiaus apdorojimą svarbiems procesams, įskaitant spausdinimą, dengimą, laminavimą ir kapsuliavimą, kartu sprendžiant tokias įprastas problemas kaip blogas sukibimas, netolygi danga ir silpnas sukibimas. Be to, plazminis valymas yra ekologiška, efektyvi ir kontroliuojama sausa alternatyva tradiciniams valymo būdams tirpikliu.
◇◇ Sudėtis ◇◇
Daugiausia sudaryta iš vakuuminės kameros, elektrodų plokščių, radijo dažnio (RF) maitinimo šaltinio, suderintuvo ir vakuuminio siurblio.
◇◇ Savybės ◇◇
Žemos temperatūros ir greitas apdorojimas: veikia netoli kambario temperatūros (<50°C) su trumpu ciklo laiku, neleidžia sugadinti karščiui jautrių medžiagų.
Puikus valymas: pašalina ≤0,1 nm lygiu esančius teršalus, viršijančius tradicinių šlapio valymo metodų ribas.
Ekologiškas ir sausas procesas: pašalina cheminius tirpiklius ir nuotekas; naudoja inertines / reaktyvias dujas, nesudarydamas toksiškų šalutinių produktų.
Pažangus ir atsekamas: pasižymi išmaniuoju proceso valdymu ir visišku gamybos duomenų atsekamumu.
◇◇ Proceso našumas ◇◇
prieš gydymą kontaktinis kampas = 85,6° po gydymo, kontaktinis kampas = 14,3°
◇◇ Techninės specifikacijos ◇◇
Kameros talpa |
110L |
| Kameros dydis | 525 (P) × 445 (G) × 495 (A) mm |
| Galios diapazonas | Nuolat reguliuojama 0-600W, tikslumas ±1% |
| Radijo dažnis | 13,56 MHz ± 0,05 % |
| Apdorojimo greitis | 3–10 minučių (priklausomai nuo apdorojimo našumo) |
| Po apdorojimo našumas | Vandens sąlyčio kampas < 15° |
| Suderinimo metodas | Automatinis varžos suderinimo tinklas |
| Elektrodo tipas | Lygiagreti plokštelinė talpinė jungtis |
| Elektrodo medžiaga | Anoduotas aliuminis |
Elektrodo plokštės konfigūracija |
Horizontalūs, 4 elektrodai (galima reguliuoti horizontalių elektrodų sluoksnių skaičių arba aukštį) Galimas kasečių įdėjimas |
Elektrodo tvirtinimo būdas |
Nuimamas kištukas |
Vakuuminis siurblys |
Rotacinis mechaninis siurblys |
Siurbimo greitis |
60m³/val |
Galutinis vakuuminis laipsnis |
≤5Pa |
Veikimo vakuuminis diapazonas |
10-100Pa |
Proceso dujų kanalo numeris |
Standartiniai 2 kanalai. Keli kanalai yra neprivalomi |
| Dujų rūšys | Ar, O₂, N₂, H₂. Korozinės dujos CF4 yra neprivaloma |
| Dujų kontrolės metodas | Masės srauto valdiklis (MFC) |
| MFC matavimo diapazonas ir tikslumas | 0-300 sccm, tikslumas ±2% FS |
| Įkrovimo dėklo dydis | 400 mm (ilgis * 473 mm (W) |
| Įrangos dydis | 900 (W) × 1100 (A) × 1750 (A) mm (neįskaitant trijų spalvų šviesos aukščio) |
| Įrangos svoris | Apie 450 kg |
◇◇ Taikymo sritis ◇◇
