Vakuum Radiotezlikli Plazma Təmizləmə Avadanlığı

◇◇ Baxış  ◇◇

 Zəif yapışma, qeyri-bərabər örtük və zəif yapışma kimi ümumi problemləri həll edərkən çap, örtük, laminasiya və enkapsulyasiya da daxil olmaqla kritik proseslər üçün etibarlı səthin əvvəlcədən təmizlənməsini təmin edir. Bundan əlavə, plazma təmizləmə ənənəvi həlledici əsaslı təmizləmə üsullarına ekoloji cəhətdən təmiz, səmərəli və idarə oluna bilən quru alternativ təklif edir.

  ◇◇  Tərkibi  ◇◇

Əsasən vakuum kamerası, elektrod lövhələri, radio tezliyi (RF) enerji təchizatı, uyğunlaşdırıcı və vakuum nasosundan ibarətdir.

◇◇  Xüsusiyyətlər  ◇◇

• Aşağı temperatur və sürətli emal: Otaq temperaturuna yaxın (<50°C) qısa dövrə müddətləri ilə işləyir, istiliyə həssas materialların zədələnməsinin qarşısını alır.

• Üstün təmizləmə: Ənənəvi yaş təmizləmə üsullarının hüdudlarını aşaraq≤0.1nm səviyyəsində çirkləndiriciləri təmizləyir.

• Ekoloji cəhətdən təmiz və quru proses: Kimyəvi həllediciləri və çirkab suları aradan qaldırır; zəhərli əlavə məhsullar yaratmadan inert/reaktiv qazlardan istifadə edir.

• Ağıllı və izlənilə bilən: İstehsal məlumatlarının tam izlənilməsi ilə ağıllı prosesə nəzarət edir.

  
  

           ◇◇ Prosesin performansı  ◇◇

                             

                                     müalicədən əvvəl, əlaqə bucağı = 85,6 ° müalicədən sonra, əlaqə bucağı = 14,3 °

◇◇  Texniki Spesifikasiyalar  ◇◇

Palata tutumu	110L
Kamera ölçüsü	525(W)×445(D)×495(H)mm
Güc diapazonu	0-600W arasında davamlı olaraq tənzimlənir, dəqiqlik ±1%
Radio tezliyi	13,56 MHz ± 0,05%
Emal sürəti	3 ~ 10 dəqiqə (emal performansından asılıdır)
Emaldan sonrakı performans	Su ilə təmas bucağı< 15°
Uyğunlaşma üsulu	Avtomatik empedans uyğunluğu şəbəkəsi
Elektrod növü	Paralel boşqab kapasitiv birləşmə
Elektrod materialı	Anodlaşdırılmış alüminium
Elektrod lövhəsinin konfiqurasiyası	Horizontal, 4 elektrod (üfüqi elektrod təbəqələrinin sayı və ya hündürlüyü tənzimlənə bilər) Kaset yükləmə mövcuddur
Elektrodların bərkidilməsi üsulu	Plug-in çıxarıla bilər
Vakuum nasosu	Dönər qanadlı mexaniki nasos
Nasos sürəti	60m³/saat
Son vakuum dərəcəsi	≤5Pa
İşləyən vakuum diapazonu	10-100Pa
Proses qazının kanal nömrəsi	Standart 2 kanal. Birdən çox kanal isteğe bağlıdır
Qaz növləri	Ar, O₂, N₂, H₂. Aşındırıcı qaz CF₄ Opsiyoneldir
Qaz nəzarət üsulu	Kütləvi Axın Nəzarətçisi (MFC)
MFC ölçmə diapazonu və dəqiqliyi	0-300 sccm, dəqiqlik ±2% FS
Yükləmə qabının ölçüsü	400mm(L）*473mm(W)
Avadanlıq ölçüsü	900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (üçrəngli işığın hündürlüyü istisna olmaqla)
Avadanlığın çəkisi	Təxminən 450 KG

◇◇  Tətbiq sahəsi  ◇◇