อุปกรณ์ทำความสะอาดพลาสม่าระบายความร้อนด้วยน้ำ

◇◇ Application แอปพลิเคชั่น  แนะนำ

• การแยกส่วนบอร์ดแบบยืดหยุ่นหลายชั้น บอร์ดแบบแข็ง และไมโครรูที่มีอัตราส่วนกว้างยาวสูง FR-4:

  ปรับปรุงแรงยึดเกาะระหว่างผนังรูและชั้นการชุบทองแดง รับประกันการขจัดคราบอย่างละเอียด เพิ่มความน่าเชื่อถือของความต่อเนื่อง และป้องกันวงจรเปิดในชั้นในหลังจากการชุบทองแดง

• การปรับเปลี่ยนพื้นผิวและการเปิดใช้งานผนังรูไมโครเวฟบอร์ดความถี่สูง PTFE (เทฟลอน) ก่อนการชุบทองแดงแบบไม่ใช้ไฟฟ้า:

  ปรับปรุงแรงยึดเหนี่ยวระหว่างผนังรูและชั้นการชุบทองแดง ขจัดปัญหาต่างๆ เช่น หลุมดำและรูลม การเปิดใช้งานพื้นผิวบอร์ดก่อนการพิมพ์มาส์กประสานและการพิมพ์ตำนาน: ป้องกันการหลุดลอกของหน้ากากประสานและหมึกตำนานได้อย่างมีประสิทธิภาพ

• การกำจัดสิ่งตกค้างจากการระเหยด้วยเลเซอร์ในรูทะลุ, จุดซ่อนเร้น/จุดฝังของบอร์ด HDI:

        ไม่จำกัดโดยเส้นผ่านศูนย์กลางรู; ผลลัพธ์จะเด่นชัดยิ่งขึ้นสำหรับ micro-vias ที่เล็กกว่า 50μm (Micro-via hole, IVH, BVH)

• การกำจัดฟิล์มแห้งที่ตกค้างระหว่างการผลิตวงจรแบบละเอียด

• การทำให้ผิวหยาบด้วย PI ก่อนการเคลือบแผ่นแข็งและก่อนการเสริมแผ่นแบบยืดหยุ่น:

        สามารถเพิ่มความแข็งแรงของการลอกได้มากกว่า 10 เท่า

• การทำความสะอาดพื้นผิวนิ้วและแผ่นรองก่อนการใช้ทองแบบไม่ใช้ไฟฟ้าหรือทองด้วยไฟฟ้า: ขจัดสิ่งปนเปื้อน เช่น หมึกหน้ากากประสาน ปรับปรุงการยึดเกาะและความน่าเชื่อถือ โรงงานแผ่นกระดานแบบยืดหยุ่นขนาดใหญ่บางแห่งได้เปลี่ยนเครื่องแปรงกลแบบดั้งเดิมด้วยการบำบัดด้วยพลาสมาเย็นสำหรับการทำความสะอาดทอง/การชุบทองก่อนไม่ใช้ไฟฟ้า

• การทำความสะอาดพื้นผิวของแผ่นอิเล็กโทรดก่อนการประกอบ SMT หลังการใช้ทองคำแบบไม่ใช้ไฟฟ้า / ทองคำการชุบด้วยไฟฟ้า:

         ปรับปรุงความสามารถในการบัดกรี ป้องกันข้อต่อบัดกรีเย็นและการยึดติดที่ไม่ดี และเพิ่มความแข็งแรงและความน่าเชื่อถือ

◇◇  คุณสมบัติ  ◇◇

• การออกแบบการไหลของก๊าซที่เหมาะสมที่สุด : ใช้วิธีทางเข้าก๊าซด้านบนและไอเสียด้านล่างเพื่อให้แน่ใจว่าก๊าซในกระบวนการมีการกระจายสม่ำเสมอ

• โครงสร้างแผ่นอิเล็กโทรดที่แม่นยำ : แผ่นอิเล็กโทรดทำจากบล็อกอะลูมิเนียมตันที่มีจุดศูนย์กลางเป็นโพรง ช่องระบายความร้อนถูกสร้างขึ้นโดยใช้เทคนิคการเจาะลึกร่วมกับการจำกัดการไหลภายใน ณ ตำแหน่งเฉพาะ เพื่อนำทางน้ำหล่อเย็นในเส้นทางที่กำหนดเพื่อให้แน่ใจว่าอุณหภูมิมีความสม่ำเสมอ

• หน่วยทำความร้อนและทำความเย็นในตัว : เครื่องทำความสะอาดพลาสม่านี้ใช้หน่วยทำความร้อนและความเย็นในตัว น้ำเย็นจ่ายไฟและปั๊มสุญญากาศ ในขณะที่น้ำควบคุมอุณหภูมิจะถูกส่งไปยังแผ่นอิเล็กโทรดเพื่อรักษาอุณหภูมิให้คงที่และเพิ่มประสิทธิภาพการบำบัด

• ระบบป้องกันความปลอดภัยที่ครอบคลุม : มีคุณสมบัติด้านความปลอดภัย เช่น การป้องกันน้ำขาดแคลน ก๊าซขาด ไฟฟ้าแรงต่ำ และความผิดปกติของวงจรไฟฟ้า

  
  

  
  

                                     

                                

◇◇  ทางเทคนิค ข้อมูลจำเพาะ  ◇◇

ขนาดผลิตภัณฑ์ที่สามารถรักษาได้	ความหนาชิ้นเดียวสูงสุด 1245*724 สูงสุด 1245*358 ความหนาสองชิ้น
เลเยอร์	18 ชั้น
เครื่องกำเนิดพลาสม่า	ความถี่ปานกลาง 15kw, กำลัง 0-15KW ± 2% การปรับอย่างต่อเนื่อง
ห้องสุญญากาศ	1368 มม.×1475 มม.×1065 มม.(ยาว*กว้าง*สูง)
	ความหนาของผนัง≥30มม
ปั๊มสุญญากาศ	ระบบปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง
ระบบท่อสุญญากาศ	โซลินอยด์วาล์วสุญญากาศและท่อสแตนเลส
ห้องสุญญากาศ เวลาอพยพออกจาก	≤180วินาที
ความสม่ำเสมอในการรักษา	≥80%
เครื่องวัดการไหลของก๊าซ	-N₂, O₂, H₂, CF4, แก๊ส 4 ช่อง
	-เครื่องวัดการไหล: ความแม่นยำ ±1%FS; ทำซ้ำความแม่นยำ ± 0.2% FS; ซีล เอฟเคเอ็ม
	-ช่วงการวัดมิเตอร์วัดการไหล: 0-2000 มล./นาที;
โหมดควบคุม	- โหมดแมนนวล / โหมดอัตโนมัติสลับได้ - โปรแกรมปั๊มสุญญากาศ/ระบายอากาศอัตโนมัติ - การตั้งค่าและควบคุมการไหลของก๊าซในกระบวนการ -ตั้งเวลาทำความสะอาดได้ - การจัดเก็บสูตรกระบวนการหลายขั้นตอน - การแสดงพารามิเตอร์แบบเรียลไทม์ (ระดับสุญญากาศ, กำลัง, การไหลของก๊าซ, เวลา, สถานะ -บันทึกข้อมูล: ใช่ - การจัดการการเข้าถึงความปลอดภัย: การป้องกันด้วยรหัสผ่านหลายระดับ
ขนาดอุปกรณ์	2000 มม. × 2900 มม. × 2200 มม. (ยาว * กว้าง * สูง)
ระบบควบคุมการแสดงผล	แผงสัมผัส + การควบคุม PLC

◇◇  พื้นที่ ใช้งาน  ◇◇

โดยส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมแผงวงจรพิมพ์ รวมถึง PCB, HDI และเทคโนโลยีอื่นๆ ที่เกี่ยวข้อง