Сумен салқындатылған плазмалық тазалау жабдығы

◇◇ Таңдаулы қолданба  ◇◇

Көпқабатты икемді тақталар, қатты иілгіш тақталар және FR-4 жоғары пропорционалды микро саңылаулар үшін ластау:

Тесік қабырғасы мен мыс жабын қабаты арасындағы байланыстыру күшін жақсартады, мұқият жағылуды қамтамасыз етеді,

үздіксіздік сенімділігін арттырады және мыс қаптаудан кейін ішкі қабаттағы ашық тізбектерді болдырмайды.

Электрсіз мыс қаптау алдында PTFE (Тефлон) жоғары жиілікті микротолқынды тақта саңылауларының қабырғаларының бетін өзгерту және белсендіру:

Тесік қабырғасы мен мыс жабын қабаты арасындағы байланыстыру күшін жақсартады, қара тесіктер мен саңылаулар сияқты мәселелерді жояды.

Дәнекерлеу маскасы мен таңбаларды басып шығару алдында тақта бетін белсендіру: дәнекерлеу маскасы мен таңбалық сияның қабығын тазартуды тиімді болдырмайды.

АДИ тақталарының өтпелі саңылауларындағы, соқыр/көмілген жолдардағы лазерлік абляция қалдықтарын жою:

Тесік диаметрімен шектелмейді; әсері 50 мкм-ден кіші микро-виалар үшін (Micro-via тесігі, IVH, BVH) одан да айқынырақ.

Ұсақ сызықты тізбекті дайындау кезінде құрғақ пленка қалдықтарын жою.

Қатты иілгіш тақтаны ламинациялау алдында және икемді тақтаны күшейту алдында PI бетін кедір-бұдырлау:

Қабықтың күшін 10 еседен астам арттыруға болады.

Электрсіз алтын немесе гальонды алтын алдында саусақтар мен төсемдердің бетін тазалау: дәнекерлеу маскасы сиясы сияқты ластаушы заттарды кетіреді,

адгезия мен сенімділікті арттыру. Кейбір ірі икемді тақта зауыттары дәстүрлі механикалық щеткамен тазалау машиналарын ауыстырды

Электрсіз алтынды/жабатын алтынды тазалауға арналған салқын плазмалық өңдеумен.

SMT құрастыру алдында төсемдердің бетін тазарту, электросыз алтыннан кейін / Алтынды лактау:

Дәнекерлеуді жақсартады, суық дәнекерлеу қосылыстарын және нашар қалайылауды болдырмайды, беріктік пен сенімділікті арттырады

◇◇  Мүмкіндіктер  ◇◇

• Оңтайландырылған газ ағынының дизайны : технологиялық газдың біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін газдың жоғарғы кіріс және төменгі шығару әдісін пайдаланады.

• Дәл электрод пластинасының конструкциясы : Электрод тақтасы ортасы ойылған қатты алюминий блоктан жасалған. Салқындату арналары температураның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін салқындатқыш суды белгілі бір жолға бағыттай отырып, белгілі бір жерлерде ішкі ағынды шектеумен біріктірілген терең бұрғылау әдістерін қолдана отырып жасалады.

• Біріктірілген жылыту және салқындату құрылғысы : Бұл плазмалық тазартқыш біріктірілген жылыту және салқындату құрылғысын пайдаланады. Салқындатылған су қуат көзі мен вакуумдық сорғыны қамтамасыз етеді, ал тұрақты температураны ұстап тұру және өңдеу тиімділігін арттыру үшін температурамен басқарылатын су электрод тақтасына беріледі.

• Қауіпсіздікті қорғаудың кешенді жүйесі : су тапшылығынан, газ тапшылығынан, төмен кернеуден және электр тізбегіндегі ақаулардан қорғау сияқты қауіпсіздік мүмкіндіктерін қамтиды.

  
  

  
  

                                     

                                

◇◇  Техникалық сипаттамалар  ◇◇

Өңделетін өнім мөлшері	Макс 1245*724 Бір бөліктің қалыңдығы Макс 1245*358 Екі бөліктің қалыңдығы
Қабаттар	18 қабат
Плазма генераторы	Орташа жиілік 15кВт, Қуат 0-15КВт±2% үздіксіз реттеу
Вакуумдық камера	1368 мм×1475 мм×1065 мм( L*W *H),
	Қабырғасының қалыңдығы≥30мм
Вакуумдық сорғылар	Құрғақ вакуумдық сорғы жүйесі
Вакуумдық құбыр жүйесі	Вакуумдық соленоидты клапан және тот баспайтын болаттан жасалған құбырлар
Вакуумдық камераны эвакуациялау уақыты	≤180с
Емдеудің біркелкілігі	≥80%
Газ шығынын өлшегіш	-N₂, O₂, H₂, CF4, 4 арналы газ
	-Шығыс өлшегіш: дәлдік ±1%FS; Қайталау дәлдігі±0,2%FS; FKM мөрі
	-Шығын өлшегішті өлшеу диапазоны:0-2000мл/мин;
Басқару режимі	-Қол режимі/Авто режимі ауыстырылады -Автоматты вакуумды сору/желдету бағдарламасы - Технологиялық газ шығынын реттеу және реттеу -Тазалау уақытын орнату -Бірнеше технологиялық рецепттерді сақтау -Нақты уақыттағы параметрді көрсету (вакуум деңгейі, қуат, газ ағыны, уақыт, күй - Деректер жазбасы: Иә -Қауіпсіздікке қол жеткізуді басқару: көп деңгейлі құпия сөзді қорғау
Жабдық өлшемі	2000мм×2900мм×2200мм(L*W*H)
Дисплейді басқару жүйесі	Сенсорлық панель+ PLC басқару

◇◇  Қолдану аймағы  ◇◇

Ол негізінен ПХД, HDI және басқа да байланысты технологияларды қоса алғанда, баспа схемасы өнеркәсібінде қолданылады.