Vandeniu aušinama plazminio valymo įranga

◇◇ Teminė programa  ◇◇

Daugiasluoksnių lanksčių plokščių, standžių lanksčių plokščių ir FR-4 didelio kraštinių santykio mikro skylių nešvarumų pašalinimas:

Pagerina sukibimo jėgą tarp skylės sienelės ir vario dengimo sluoksnio, užtikrina kruopštų nuvalymą,

padidina tęstinumo patikimumą ir apsaugo nuo atvirų grandinių vidiniame sluoksnyje po dengimo variu.

PTFE (teflono) aukšto dažnio mikrobangų plokštės skylių sienelių paviršiaus modifikavimas ir aktyvinimas prieš dengiant beelektriu variu:

Pagerina sukibimo jėgą tarp skylės sienelės ir vario dengimo sluoksnio, pašalindama tokias problemas kaip juodosios skylės ir prapūtimo skylės.

Plokštės paviršiaus aktyvinimas prieš litavimo kaukės ir legendos spausdinimą: veiksmingai apsaugo nuo litavimo kaukės ir rašalo nulupimo.

Lazerinės abliacijos likučių pašalinimas iš skylių, aklinų/užkastų HDI plokščių angų:

Neriboja skylės skersmuo; poveikis yra dar ryškesnis, kai mikro-vias yra mažesnės nei 50 μm (Micro-viale, IVH, BVH).

Sausos plėvelės likučių pašalinimas smulkių linijų grandinės gamybos metu.

PI paviršiaus šiurkštinimas prieš standžiojo lanksčios plokštės laminavimą ir prieš lanksčios plokštės sutvirtinimą:

Gali padidinti lupimo stiprumą daugiau nei 10 kartų.

Pirštų ir pagalvėlių paviršiaus valymas prieš beelektrinį auksą arba galvanizuojant auksą: pašalina teršalus, pvz., litavimo kaukės rašalą,

gerina sukibimą ir patikimumą. Kai kurios didelės lanksčių plokščių gamyklos pakeitė tradicines mechanines šepečių valymo mašinas

su šaltu plazminiu apdorojimu, skirtas išankstiniam beelektriniam aukso / padengimo auksu valymui.

Trinkelių paviršiaus valymas prieš SMT surinkimą, po beelektrinio aukso / Galvaninio aukso:

Pagerina litavimą, apsaugo nuo šaltų litavimo jungčių ir prasto alavavimo, padidina stiprumą ir patikimumą

◇◇  Savybės  ◇◇

• Optimizuotas dujų srauto dizainas : naudojamas viršutinis dujų įleidimo ir apatinio išmetimo metodas, kad būtų užtikrintas vienodas proceso dujų pasiskirstymas.

• Tiksli elektrodo plokštės konstrukcija : elektrodo plokštė pagaminta iš tvirto aliuminio bloko su tuščiaviduriu centru. Aušinimo kanalai sukuriami naudojant giluminio gręžimo metodus kartu su vidinio srauto apribojimu tam tikrose vietose, nukreipiant aušinimo vandenį apibrėžtu keliu, kad būtų užtikrinta vienoda temperatūra.

• Integruotas šildymo ir vėsinimo įrenginys : Šiame plazminiame valiklyje naudojamas integruotas šildymo ir vėsinimo įrenginys. Atšaldytas vanduo tiekia maitinimo šaltinį ir vakuuminį siurblį, o kontroliuojama temperatūra tiekiamas į elektrodo plokštę, kad būtų palaikoma stabili temperatūra ir padidintas gydymo efektyvumas.

• Visapusiška saugos apsaugos sistema : apima saugos funkcijas, tokias kaip apsauga nuo vandens trūkumo, dujų trūkumo, žemos įtampos ir elektros grandinės gedimų.

  
  

  
  

                                     

                                

◇◇  Techninės specifikacijos  ◇◇

Apdorojamas gaminio dydis	Max 1245*724 Vieno gabalo storis Max 1245*358 Dviejų dalių storis
Sluoksniai	18 sluoksnių
Plazmos generatorius	Vidutinis dažnis 15kw, Galia 0-15KW±2% nuolatinis reguliavimas
Vakuuminė kamera	1368 mm × 1475 mm × 1065 mm (ilgis*plotis *aukštis),
	Sienelės storis ≥30 mm
Vakuuminiai siurbliai	Sauso vakuuminio siurblio sistema
Vakuuminių vamzdžių sistema	Vakuuminis solenoidinis vožtuvas ir nerūdijančio plieno vamzdžiai
Vakuuminės kameros evakuacijos laikas	≤180s
Gydymo vienodumas	≥80 %
Dujų srauto matuoklis	-N₂, O2, H₂, CF4, 4 kanalų dujos
	-Srauto matuoklis: tikslumas ±1%FS; Pakartojimo tikslumas±0,2%FS; FKM antspaudas
	-Srauto matuoklio matavimo diapazonas: 0-2000ml/min;
Valdymo režimas	- Perjungiamas rankinis / automatinis režimas -Automatinė vakuuminio siurbimo/vėdinimo programa -Proceso dujų srauto nustatymas ir valdymas - Valymo laiko nustatymas -Kelių procesų receptų saugojimas - Parametrų ekranas realiuoju laiku (vakuumo lygis, galia, dujų srautas, laikas, būsena - Duomenų įrašas: Taip - Apsaugos prieigos valdymas: kelių lygių slaptažodžio apsauga
Įrangos dydis	2000 mm × 2900 mm × 2200 mm (L*P*A)
Ekrano valdymo sistema	Jutiklinis skydelis + PLC valdymas

◇◇  Taikymo sritis  ◇◇

Jis pirmiausia naudojamas spausdintinių plokščių pramonėje, įskaitant PCB, HDI ir kitas susijusias technologijas