| கிடைக்கும்: | |
|---|---|
| அளவு: | |
◇◇ மேலோட்டம் ◇◇
மோசமான ஒட்டுதல், சீரற்ற பூச்சு மற்றும் பலவீனமான பிணைப்பு போன்ற பொதுவான சிக்கல்களைத் தீர்க்கும் அதே வேளையில், அச்சிடுதல், பூச்சு, லேமினேஷன் மற்றும் இணைத்தல் உள்ளிட்ட முக்கியமான செயல்முறைகளுக்கு இது நம்பகமான மேற்பரப்பு முன் சிகிச்சையை வழங்குகிறது. மேலும், பிளாஸ்மா சுத்தம் என்பது பாரம்பரிய கரைப்பான் அடிப்படையிலான துப்புரவு முறைகளுக்கு சுற்றுச்சூழல் நட்பு, திறமையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய உலர் மாற்றீட்டை வழங்குகிறது.
◇◇ அம்சங்கள் ◇◇
இயக்க வெப்பநிலை அறை வெப்பநிலைக்கு அருகில் உள்ளது (பொதுவாக <50℃), மற்றும் செயலாக்க நேரம் குறைவாக உள்ளது, இது வெப்ப-உணர்திறன் கொண்ட பொருட்களின் சிதைவு அல்லது சேதத்தை திறம்பட தடுக்கிறது.
பாரம்பரிய ஈரமான துப்புரவு முறைகளின் வரம்பிற்கு அப்பாற்பட்ட மாசுபடுத்திகளை (≤0.1nm அளவு) சுத்தம் செய்யும் திறன் கொண்டது.
உலர் செயலாக்கத்திற்கு இரசாயன கரைப்பான்கள் தேவையில்லை, கழிவு திரவ மாசுபாட்டை குறைக்கிறது; இது நச்சு துணை தயாரிப்புகள் இல்லாமல் மந்த அல்லது எதிர்வினை வாயுக்களை ஆதரிக்கிறது.
அறிவார்ந்த கட்டுப்பாடு மற்றும் கண்டுபிடிக்கக்கூடிய உற்பத்தி தகவல்.
◇◇ தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள் ◇◇
அறை திறன் |
110L |
மின்முனை தட்டு கட்டமைப்பு |
செங்குத்து, 4 மின்முனைகள் (கிடைமட்ட மின்முனை அடுக்குகளின் எண்ணிக்கை அல்லது உயரம் தன்னிச்சையாக சரிசெய்யப்படலாம்) |
தட்டு அளவு ஏற்றப்படுகிறது |
400 மிமீ (எல்)*473 மிமீ (டபிள்யூ) |
மின்முனையை சரிசெய்யும் முறை |
செருகுநிரல் பிரிக்கக்கூடியது |
மின்முனை தட்டு இடைவெளி |
எச்: 54 மிமீ, 20 மிமீ, 184 மிமீ (வெவ்வேறு தேவைகளுக்கு ஏற்றது) |
உபகரண அளவு |
900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (முவர்ண ஒளியின் உயரம் தவிர்த்து) |
உள் அறை அளவு |
525(W)×445(D)×495(H)mm |
உபகரண எடை |
450KG |
மொத்த சக்தி |
4.0KW |
◇◇ ஒரு பயன்பாட்டு பகுதி ◇◇
செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங், 3சி எலக்ட்ரானிக்ஸ், சர்க்யூட் போர்டு தொழில், பயோமெடிசின், புதிய ஆற்றல், ராணுவ விமான போக்குவரத்து.