வெற்றிட ரேடியோ அதிர்வெண் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் கருவி

◇◇ மேலோட்டம்  ◇◇

 மோசமான ஒட்டுதல், சீரற்ற பூச்சு மற்றும் பலவீனமான பிணைப்பு போன்ற பொதுவான சிக்கல்களைத் தீர்க்கும் அதே வேளையில், அச்சிடுதல், பூச்சு, லேமினேஷன் மற்றும் இணைத்தல் உள்ளிட்ட முக்கியமான செயல்முறைகளுக்கு இது நம்பகமான மேற்பரப்பு முன் சிகிச்சையை வழங்குகிறது. மேலும், பிளாஸ்மா சுத்தம் என்பது பாரம்பரிய கரைப்பான் அடிப்படையிலான துப்புரவு முறைகளுக்கு சுற்றுச்சூழல் நட்பு, திறமையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய உலர் மாற்றீட்டை வழங்குகிறது.

  ◇◇  கலவை  ◇◇

முக்கியமாக வெற்றிட அறை, மின்முனை தகடுகள், ரேடியோ அலைவரிசை (RF) மின்சாரம், மேட்சர் மற்றும் வெற்றிட பம்ப் ஆகியவற்றால் ஆனது.

◇◇  அம்சங்கள்  ◇◇

• குறைந்த வெப்பநிலை மற்றும் வேகமான செயலாக்கம்: அறை வெப்பநிலைக்கு அருகில் (<50°C) குறுகிய சுழற்சி நேரங்களுடன் இயங்குகிறது, வெப்ப உணர்திறன் பொருட்கள் சேதமடைவதைத் தடுக்கிறது.

• சிறந்த சுத்தம்: ≤0.1nm அளவில் உள்ள அசுத்தங்களை நீக்குகிறது, பாரம்பரிய ஈரமான சுத்தம் செய்யும் முறைகளின் வரம்புகளை மீறுகிறது.

• சுற்றுச்சூழல் நட்பு மற்றும் உலர் செயல்முறை: இரசாயன கரைப்பான்கள் மற்றும் கழிவுநீரை நீக்குகிறது; நச்சு துணை தயாரிப்புகளை உருவாக்காமல் மந்த/எதிர்வினை வாயுக்களை பயன்படுத்துகிறது.

• நுண்ணறிவு மற்றும் கண்டறியக்கூடியது: முழு உற்பத்தித் தரவுக் கண்டறியும் திறன் கொண்ட ஸ்மார்ட் செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.

  
  

           ◇◇ செயல்முறை செயல்திறன்  ◇◇

                             

                                     சிகிச்சைக்கு முன், தொடர்பு கோணம் = 85.6° சிகிச்சைக்குப் பிறகு, தொடர்பு கோணம் = 14.3°

◇◇  தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்  ◇◇

அறை திறன்	110L
அறை அளவு	525(W)×445(D)×495(H)mm
சக்தி வரம்பு	0-600W இலிருந்து தொடர்ந்து சரிசெய்யக்கூடியது, துல்லியம் ±1%
ரேடியோ அலைவரிசை	13.56MHz ± 0.05%
செயலாக்க வேகம்	3~10 நிமிடங்கள் (செயல்திறன் செயல்பாட்டிற்கு உட்பட்டது)
பிந்தைய செயலாக்க செயல்திறன்	நீர் தொடர்பு கோணம்< 15°
பொருத்துதல் முறை	தானியங்கி மின்மறுப்பு பொருத்த நெட்வொர்க்
மின்முனை வகை	இணை தட்டு கொள்ளளவு இணைப்பு
மின்முனை பொருள்	அனோடைஸ் செய்யப்பட்ட அலுமினியம்
மின்முனை தட்டு கட்டமைப்பு	கிடைமட்ட, 4 மின்முனைகள் (கிடைமட்ட மின்முனை அடுக்குகளின் எண்ணிக்கை அல்லது உயரத்தை சரிசெய்யலாம்) கேசட் ஏற்றும் வசதி உள்ளது
மின்முனையை சரிசெய்யும் முறை	செருகுநிரல் பிரிக்கக்கூடியது
வெற்றிட பம்ப்	ரோட்டரி வேன் மெக்கானிக்கல் பம்ப்
உந்தி வேகம்	60m³/h
இறுதி வெற்றிட பட்டம்	≤5Pa
இயங்கும் வெற்றிட வரம்பு	10-100பா
செயல்முறை வாயுவின் சேனல் எண்	நிலையான 2 சேனல்கள். பல சேனல்கள் விருப்பமானவை
எரிவாயு வகைகள்	Ar, O₂, N₂, H₂. அரிக்கும் வாயு CF₄ விருப்பமானது
எரிவாயு கட்டுப்பாட்டு முறை	மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர் (MFC)
MFC அளவீட்டு வரம்பு மற்றும் துல்லியம்	0-300 sccm, துல்லியம் ±2% FS
தட்டு அளவு ஏற்றப்படுகிறது	400மிமீ(எல்)*473மிமீ(டபிள்யூ)
உபகரண அளவு	900(W)×1100(D)×1750 (H)mm (முவர்ண ஒளியின் உயரம் தவிர்த்து)
உபகரண எடை	சுமார் 450KG

◇◇  ஒரு பயன்பாட்டு பகுதி  ◇◇